刀口法检测光学元件面形的数字化技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题的背景、意义 | 第8-11页 |
| ·课题的背景 | 第8页 |
| ·课题的意义 | 第8-11页 |
| ·课题的提出 | 第11页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| ·论文章节安排 | 第12-14页 |
| 2 常用的光学元件面形检测方法 | 第14-25页 |
| ·阴影法 | 第14-17页 |
| ·阴影法原理 | 第14-16页 |
| ·阴影法检测凹球面镜的面形误差 | 第16-17页 |
| ·干涉法 | 第17-22页 |
| ·干涉法分类 | 第18-19页 |
| ·常用干涉仪介绍 | 第19-22页 |
| ·表面轮廓测量术 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 3 数字刀口检测技术 | 第25-36页 |
| ·数字刀口检测的原理 | 第25-28页 |
| ·传统刀口仪检测原理 | 第25页 |
| ·数字刀口检测原理 | 第25-28页 |
| ·评价的主要参数 | 第28-29页 |
| ·P-V值 | 第28页 |
| ·RMS值 | 第28-29页 |
| ·RA值 | 第29页 |
| ·系统的组成 | 第29-34页 |
| ·系统的组成 | 第29页 |
| ·实验设备的选取 | 第29-34页 |
| ·关键技术 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 数值仿真模拟 | 第36-49页 |
| ·面元倾斜角的求取 | 第36-41页 |
| ·对缺陷为凹陷的面形倾斜角进行分析 | 第37-40页 |
| ·对缺陷为凸起的面形倾斜角进行分析 | 第40-41页 |
| ·环带形缺陷倾斜角的求取 | 第41页 |
| ·阴影图灰度值的计算 | 第41-44页 |
| ·暗场阈值 | 第41-43页 |
| ·灰度拟合曲线的研究 | 第43页 |
| ·函数关系式的建立 | 第43-44页 |
| ·程序的设计 | 第44-45页 |
| ·模拟与分析 | 第45-47页 |
| ·模拟 | 第45-46页 |
| ·分析 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 5 实验验证 | 第49-55页 |
| ·实验及验证 | 第49-53页 |
| ·实验平台的搭建 | 第49-50页 |
| ·实验采集到的图像 | 第50-51页 |
| ·实验结果分析 | 第51-53页 |
| ·实验的改进 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 6 结论 | 第55-58页 |
| ·结论 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
