| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-32页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 硬质薄膜 | 第10-12页 |
| 1.2.1 本征硬质薄膜 | 第11页 |
| 1.2.2 多元化合物硬质薄膜 | 第11页 |
| 1.2.3 微结构强化硬质薄膜 | 第11-12页 |
| 1.3 纳米多层膜 | 第12-20页 |
| 1.3.1 基本概念 | 第12-13页 |
| 1.3.2 研究方法 | 第13页 |
| 1.3.3 早期的研究 | 第13-15页 |
| 1.3.4 研究新进展 | 第15-16页 |
| 1.3.5 强化机制 | 第16-20页 |
| 1.4 TiN/ZrN纳米多层膜 | 第20-25页 |
| 1.4.1 TiN单层膜 | 第20页 |
| 1.4.2 ZrN单层膜 | 第20-21页 |
| 1.4.3 TiN/ZrN多层膜的研究现状 | 第21-25页 |
| 1.5 本课题的设计思想和研究内容 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-32页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第32-40页 |
| 2.1 样品制备 | 第32-34页 |
| 2.1.1 镀膜设备 | 第32页 |
| 2.1.2 多层膜的制备 | 第32-34页 |
| 2.2 薄膜的常规表征方法 | 第34-37页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第34-35页 |
| 2.2.2 扫描电子显微术(SEM) | 第35页 |
| 2.2.3 能量散射光谱(EDS) | 第35页 |
| 2.2.4 纳米压痕分析(Nanoindentation) | 第35-37页 |
| 2.3 本实验中用到的其它表征方法 | 第37-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第三章 单层膜的结构和力学性能 | 第40-47页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 TiN单层膜 | 第40-42页 |
| 3.2.1 制备过程 | 第40页 |
| 3.2.2 微结构 | 第40-41页 |
| 3.2.3 力学性能 | 第41-42页 |
| 3.3 ZrN单层膜 | 第42-44页 |
| 3.3.1 制备过程 | 第42页 |
| 3.3.2 微结构 | 第42-43页 |
| 3.3.3 力学性能 | 第43-44页 |
| 3.4 (Ti,Zr)N薄膜 | 第44-45页 |
| 3.4.1 制备过程 | 第44页 |
| 3.4.2 微结构 | 第44-45页 |
| 3.4.3 力学性能 | 第45页 |
| 3.5 小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-47页 |
| 第四章 TiN_((2nm))/ZrN_((y))和TiN_((x))/ZrN_((1nm))多层膜的微结构和力学性能分析 | 第47-60页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 TiN_((x))/ZrN_((1nm))纳米多层膜 | 第47-52页 |
| 4.2.1 微结构 | 第47-51页 |
| 4.2.2 力学性能 | 第51-52页 |
| 4.3 TiN_((2nm))/ZrN_((y))纳米多层膜 | 第52-56页 |
| 4.3.1 微结构 | 第52-55页 |
| 4.3.2 力学性能 | 第55-56页 |
| 4.4 问题与讨论 | 第56-58页 |
| 4.5 小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第五章 样品组矩阵的分析 | 第60-69页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 多层膜的生长特征 | 第60-66页 |
| 5.2.1 晶体结构 | 第60-63页 |
| 5.2.2 截面形貌 | 第63-66页 |
| 5.3 多层膜的力学性能 | 第66-67页 |
| 5.4 小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 第六章 TiN/ZrN纳米多层膜中的断裂研究 | 第69-75页 |
| 6.1 引言 | 第69页 |
| 6.2 力学性能 | 第69-70页 |
| 6.3 断裂面观察 | 第70-72页 |
| 6.4 讨论 | 第72-73页 |
| 6.5 小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 第七章 结论、创新点与展望 | 第75-77页 |
| 7.1 结论 | 第75页 |
| 7.2 展望 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间撰写和发表的论文 | 第78-80页 |
