| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-29页 |
| 1.1 引言 | 第7-9页 |
| 1.2 减反层类型 | 第9-12页 |
| 1.2.1 折射率渐进型减反层 | 第9-10页 |
| 1.2.2 多叠层干涉型减反层 | 第10-12页 |
| 1.3 自下而上方法制备减反层 | 第12-16页 |
| 1.3.1 溶液法 | 第12-14页 |
| 1.3.2 物理汽相淀积法 | 第14-15页 |
| 1.3.3 化学气相沉积法 | 第15-16页 |
| 1.4 自上而下方法制备减反层 | 第16-21页 |
| 1.4.1 湿法刻蚀 | 第16-18页 |
| 1.4.2 干法刻蚀 | 第18-19页 |
| 1.4.3 纳米压印 | 第19-21页 |
| 1.5 氧化锌纳米棒薄膜减反层 | 第21-23页 |
| 1.6 太阳能电池的分类 | 第23-26页 |
| 1.6.1 硅太阳能电池 | 第23-24页 |
| 1.6.2 无机化合物电池 | 第24页 |
| 1.6.3 有机聚合物太阳能电池 | 第24-25页 |
| 1.6.4 有机薄膜太阳能电池 | 第25页 |
| 1.6.5 染料敏化太阳能电池 | 第25-26页 |
| 1.7 太阳能电池工作原理 | 第26-28页 |
| 1.8 本课题研究意义 | 第28页 |
| 1.9 论文结构 | 第28-29页 |
| 第二章 水热法生长ZnO纳米棒及其测试表征以及形貌的FDTD模拟 | 第29-43页 |
| 2.1 引言 | 第29-30页 |
| 2.2 ZnO纳米棒形貌对反射率影响的FDTD模拟 | 第30-34页 |
| 2.3 水热法生长ZnO纳米棒 | 第34-41页 |
| 2.3.1 硅衬底的清洗 | 第34-35页 |
| 2.3.2 溶胶凝胶法生长ZnO籽晶层 | 第35-36页 |
| 2.3.3 ZnO纳米棒的生长及其测试表征 | 第36-41页 |
| 2.4 小结 | 第41-43页 |
| 第三章 太阳能电池表面生长ZnO纳米棒及性能测试 | 第43-54页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 太阳能电池的基本特性 | 第43-44页 |
| 3.3 影响单晶硅太阳电池转换效率的因素 | 第44-46页 |
| 3.4 太阳能电池的测试 | 第46-47页 |
| 3.4.1 几个描述光的物理概念 | 第46页 |
| 3.4.2 光谱分布 | 第46-47页 |
| 3.4.3 太阳模拟器 | 第47页 |
| 3.5 太阳能电池表面进行ZnO纳米棒生长及前后测试对比 | 第47-50页 |
| 3.6 反应离子刻蚀对ZnO纳米棒薄膜处理 | 第50-53页 |
| 3.7 小结 | 第53-54页 |
| 第四章 湿法腐蚀单晶硅结合ZnO纳米棒减反层研究 | 第54-62页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 TMAH湿法腐蚀原理及特性 | 第54-56页 |
| 4.3 TMAH湿法腐蚀结合ZnO纳米棒减反层 | 第56-61页 |
| 4.4 小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 附录：攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71-72页 |
| 附录：单晶硅太阳能电池片制作流程 | 第72-78页 |
