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锡基薄膜与固态金属Cu焊盘界面反应行为研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-22页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第9-10页
    1.2 锡基钎料与铜焊盘之间的固液界面反应及现象分析第10-16页
        1.2.1 锡基钎料与铜基板的润湿反应第10-12页
        1.2.2 润湿过程中界面金属间化合物的结构研究第12-13页
        1.2.3 润湿过程中界面金属间化合物的形貌研究第13-14页
        1.2.4 润湿过程中界面金属间化合物粗化行为及生长动力学研究第14-16页
    1.3 锡基钎料与铜焊盘之间固固界面反应及现象分析第16-20页
        1.3.1 时效过程中界面金属间化合物形貌研究第16-17页
        1.3.2 时效过程中界面金属间化合生长动力学研究第17-20页
        1.3.3 时效过程中界面金属间化合物的粗化行为和晶体取向研究第20页
    1.4 本文的主要研究内容第20-22页
第2章 实验材料、设备、方法第22-27页
    2.1 实验材料第22页
    2.2 实验设备第22-24页
    2.3 试样制备第24-25页
        2.3.1 重熔试样的制备第24页
        2.3.2 时效试样的制备第24-25页
    2.4 实验方法第25-26页
    2.5 本章小结第26-27页
第3章 界面金属间化合物生长行为研究第27-42页
    3.1 界面金属间化合物的形貌第27-31页
    3.2 界面金属间化合物的晶体取向第31-34页
    3.3 界面金属间化合物的粗化行为第34-38页
        3.3.1 重熔条件下的界面化合物粗化行为第34-36页
        3.3.2 不同薄膜厚度下的界面化合物粗化行为第36-38页
    3.4 界面金属间化合物的生长动力学第38-40页
    3.5 本章小结第40-42页
第4章 界面金属间化合物对铜焊盘溶解的抑制作用第42-54页
    4.1 引言第42页
    4.2 不同结构的金属间化合物层的抑制作用第42-48页
    4.3 抑制金属间化合物生长的原因第48-50页
    4.4 老化条件下形成的界面金属间化合物第50-52页
    4.5 本章小结第52-54页
结论第54-56页
参考文献第56-64页
致谢第64页

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