| 论文创新点 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 TiSiN涂层的发展及其应用介绍 | 第14-16页 |
| 1.2.1 TiSiN涂层的发展 | 第14-16页 |
| 1.2.2 TiSiN涂层的应用介绍 | 第16页 |
| 1.3 TiSiN生长与结构 | 第16-20页 |
| 1.4 TiSiN强化机制 | 第20-22页 |
| 1.5 高温稳定性 | 第22-24页 |
| 1.5.1 TiSiN涂层高温结构稳定性与硬度 | 第22-23页 |
| 1.5.2 TiSiN涂层的抗氧化性能 | 第23-24页 |
| 1.6 目前研究不足 | 第24-26页 |
| 1.7 本论文研究思路与内容 | 第26-28页 |
| 第2章 材料制备与检测技术 | 第28-35页 |
| 2.1 材料制备技术与设备 | 第28-31页 |
| 2.1.1 涂层制备技术 | 第28-29页 |
| 2.1.2 涂层制备设备 | 第29-31页 |
| 2.1.3 块体TiSiN烧结设备 | 第31页 |
| 2.2 材料结构表征方法与设备 | 第31-33页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第31-32页 |
| 2.2.2 X射线光电子能谱(XPS) | 第32页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第32页 |
| 2.2.4 透射电子显微镜(TEM) | 第32-33页 |
| 2.3 材料性能测试技术与设备 | 第33-35页 |
| 2.3.1 氧化设备 | 第33页 |
| 2.3.2 硬度测试 | 第33页 |
| 2.3.3 摩擦性能 | 第33-34页 |
| 2.3.4 电化学实验 | 第34页 |
| 2.3.5 辐照实验 | 第34-35页 |
| 第3章 氮气对TiSiN涂层结构与性能的影响 | 第35-48页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 涂层沉积工艺 | 第35-37页 |
| 3.3 涂层结构分析 | 第37-42页 |
| 3.3.1 涂层表面与截面形貌 | 第37-39页 |
| 3.3.2 涂层相分析 | 第39-42页 |
| 3.4 不同氮气压力下涂层硬度与摩擦性能变化 | 第42-47页 |
| 3.4.1 不同氮气压力下TiSiN涂层电化学性能研究 | 第44-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 不同硅含量TiSiN涂层结构与性能研究 | 第48-62页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 涂层沉积工艺 | 第48-49页 |
| 4.3 不同Si含量靶材沉积TiSiN结构分析 | 第49-56页 |
| 4.3.1 TiSiN涂层表面与截面形貌观察 | 第49-51页 |
| 4.3.2 涂层相分析 | 第51-52页 |
| 4.3.3 X射线光电子能谱 | 第52-56页 |
| 4.4 不同Si含量靶材沉积TiSiN涂层纳米压痕实验 | 第56-57页 |
| 4.5 TiSiN涂层摩擦行为与失效机理研究 | 第57-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 TiN/TiSiN复合涂层结构与性能研究 | 第62-71页 |
| 5.1 引言 | 第62-63页 |
| 5.2 涂层沉积工艺 | 第63页 |
| 5.3 涂层结构分析 | 第63-67页 |
| 5.4 涂层硬度与摩擦性能研究 | 第67-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第6章 TiSiN涂层腐蚀与抗氧化性能及应用研究 | 第71-87页 |
| 6.1 TiSiN涂层腐蚀行为研究 | 第71-81页 |
| 6.1.1 引言 | 第71页 |
| 6.1.2 电化学实验方法 | 第71-72页 |
| 6.1.3 极化曲线结果与分析 | 第72-73页 |
| 6.1.4 涂层电化学阻抗谱研究 | 第73-78页 |
| 6.1.5 浸泡试验之后涂层表面形貌观察 | 第78-79页 |
| 6.1.6 涂层腐蚀机制 | 第79-80页 |
| 6.1.7 小结 | 第80-81页 |
| 6.2 TiSiN高温氧化性能研究 | 第81-87页 |
| 6.2.1 引言 | 第81页 |
| 6.2.2 氧化实验方法 | 第81-82页 |
| 6.2.3 TiSiN涂层氧化形貌结构分析 | 第82-86页 |
| 6.2.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 第7章 TiSiN涂层材料辐照损伤机理研究 | 第87-96页 |
| 7.1 引言 | 第87-89页 |
| 7.2 辐照实验方法 | 第89页 |
| 7.3 辐照前后涂层结构与性能变化 | 第89-94页 |
| 7.3.1 辐照前涂层结构观察 | 第89-91页 |
| 7.3.2 辐照后涂层显微结构观察 | 第91-93页 |
| 7.3.3 辐照前后涂层硬度与杨氏模量变化 | 第93-94页 |
| 7.4 讨论 | 第94页 |
| 7.5 本章小结 | 第94-96页 |
| 第8章 三维TiSiN材料制备与结构、性能研究 | 第96-110页 |
| 8.1 引言 | 第96-97页 |
| 8.2 实验技术与方法 | 第97-98页 |
| 8.2.1 TiSiN块体烧结工艺 | 第97页 |
| 8.2.2 致密度测定 | 第97-98页 |
| 8.3 不同温度烧结试样结构与致密度 | 第98-100页 |
| 8.3.1 不同温度烧结试样结构分析 | 第98-99页 |
| 8.3.2 不同温度烧结试样致密度与硬度测定 | 第99-100页 |
| 8.4 不同Si_3N_4成分TiSiN块体结构与性能分析 | 第100-107页 |
| 8.4.1 截面SEM形貌与致密度分析 | 第100-102页 |
| 8.4.2 TiSiN烧结样品致密度分析 | 第102-103页 |
| 8.4.3 TiSiN烧结样品物相分析 | 第103-106页 |
| 8.4.4 TiSiN烧结样品硬度测试 | 第106-107页 |
| 8.5 TiSiN三维材料结构与硬度强化机理分析 | 第107-108页 |
| 8.6 本章小结 | 第108-110页 |
| 第9章 结论与展望 | 第110-112页 |
| 9.1 结论 | 第110-111页 |
| 9.2 展望 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-127页 |
| 攻读博士学位期间科研成果 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
