| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 综述 | 第9-11页 |
| 1.2 具有弹性薄板气浮垫传统制造工艺 | 第11-12页 |
| 1.3 具有弹性薄板气浮垫的结构与原理 | 第12-15页 |
| 1.4 本文的主要内容 | 第15-16页 |
| 1.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 2 气浮垫关键制造工艺总体方案 | 第17-26页 |
| 2.1 金属粘接 | 第17-20页 |
| 2.1.1 金属粘接概述 | 第17-18页 |
| 2.1.2 金属粘接工艺方案 | 第18页 |
| 2.1.3 剥离强度测试 | 第18-20页 |
| 2.2 非真空钎焊 | 第20-22页 |
| 2.3 真空钎焊 | 第22-25页 |
| 2.3.1 真空钎焊的优缺点 | 第22页 |
| 2.3.2 真空钎焊的焊接接头的形成机理 | 第22-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 真空钎焊气浮垫的实验条件及工艺方案 | 第26-38页 |
| 3.1 实验材料 | 第26-28页 |
| 3.1.1 母材的制备 | 第26页 |
| 3.1.2 钎料的选择 | 第26-28页 |
| 3.2 实验设备 | 第28-29页 |
| 3.3 钎焊工艺参数的选取 | 第29-33页 |
| 3.3.1 真空度的选择 | 第29-30页 |
| 3.3.2 加热速率 | 第30页 |
| 3.3.3 稳定温度和保温时间 | 第30-31页 |
| 3.3.4 钎焊温度及保温时间 | 第31页 |
| 3.3.5 冷却方式 | 第31-33页 |
| 3.4 焊接表面及气密性检测 | 第33-34页 |
| 3.4.1 外观检测 | 第33-34页 |
| 3.4.2 气密性检测 | 第34页 |
| 3.5 焊接接头显微组织分析 | 第34-37页 |
| 3.5.1 金相试样制备 | 第35页 |
| 3.5.2 焊接接头的宏观组织分析 | 第35页 |
| 3.5.3 焊接接头的微观组织分析 | 第35-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 具有弹性薄板气浮垫的研磨抛光实验 | 第38-46页 |
| 4.1 实验材料 | 第38页 |
| 4.2 实验仪器 | 第38-40页 |
| 4.3 实验工作环境 | 第40页 |
| 4.4 具有弹性薄板气浮垫的充气研磨抛光加工工艺路线 | 第40-43页 |
| 4.5 实验内容 | 第43-44页 |
| 4.6 气浮垫研磨抛光实验结果 | 第44-45页 |
| 4.6.1 气浮垫的研磨实验结果 | 第44页 |
| 4.6.2 气浮垫的抛光实验结果 | 第44-45页 |
| 4.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 5 气浮垫中弹性薄板的变形量检测 | 第46-50页 |
| 5.1 实验设备简介 | 第46-47页 |
| 5.2 实验过程及结果 | 第47-49页 |
| 5.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 6 结论 | 第50-53页 |
| 6.1 结论 | 第50页 |
| 6.2 课题展望 | 第50-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |