| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.3 椭圆偏振测量的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.4 论文的研究内容 | 第13-15页 |
| 2 实验平台光路与机械结构设计 | 第15-35页 |
| 2.1 穆勒矩阵椭偏测量原理 | 第15-18页 |
| 2.2 测量光路设计 | 第18-27页 |
| 2.3 测量光路硬件设计 | 第27-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 补偿器旋转运动控制方案设计 | 第35-46页 |
| 3.1 运动控制的组成及器件选型 | 第35-38页 |
| 3.2 同步控制方案设计 | 第38-42页 |
| 3.3 运动控制调试与验证 | 第42-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 穆勒矩阵椭偏测量实验平台调试 | 第46-58页 |
| 4.1 光路调试 | 第46-53页 |
| 4.2 空气介质测量 | 第53-55页 |
| 4.3 标准样件测量 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 全文总结 | 第58-59页 |
| 5.2 展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |