铁基非晶薄膜的制备及其结构性能研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 非晶态材料概述 | 第10页 |
| 1.2 磁控溅射 | 第10-13页 |
| 1.3 非晶态薄膜研究现状 | 第13-18页 |
| 1.4 目前存在的问题 | 第18页 |
| 1.5 选题的意义与主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 铁基非晶薄膜的磁控溅射工艺研究 | 第20-35页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 实验过程 | 第20-24页 |
| 2.3 溅射时间的优化选择 | 第24-29页 |
| 2.4 溅射气压的优化选择 | 第29-31页 |
| 2.5 溅射功率的优化选择 | 第31-33页 |
| 2.6 溅射工艺与薄膜成分的关系 | 第33-34页 |
| 2.7 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 铁基非晶薄膜的机械性能研究 | 第35-43页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 实验过程 | 第35-37页 |
| 3.3 铁基非晶薄膜的结合力 | 第37-38页 |
| 3.4 铁基非晶薄膜的摩擦/磨损性能 | 第38-41页 |
| 3.5 铁基非晶薄膜的磨损机理 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 铁基非晶薄膜的腐蚀行为研究 | 第43-54页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 实验过程 | 第43-46页 |
| 4.3 非晶薄膜在模拟汗液中腐蚀性能 | 第46-51页 |
| 4.4 非晶薄膜的点蚀机制 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 5 全文总结 | 第54-56页 |
| 5.1 全文总结 | 第54-55页 |
| 5.2 本文的创新之处 | 第55页 |
| 5.3 展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-66页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66-67页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第67页 |
