Cr2AlC MAX相薄膜材料的制备
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第10-21页 |
| 1.1 研究目的及意义 | 第10-15页 |
| 1.1.1 MAX相材料的结构 | 第10-11页 |
| 1.1.2 MAX相材料的种类 | 第11页 |
| 1.1.3 MAX相材料的性能 | 第11-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-20页 |
| 1.2.1 块体材料的制备和性能研究 | 第16-17页 |
| 1.2.2 薄膜材料的制备和性能研究 | 第17-20页 |
| 1.3 研究目标和研究内容 | 第20页 |
| 1.4 研究方法和技术路线 | 第20-21页 |
| 第二章 材料分析方法 | 第21-35页 |
| 2.1 离子束分析方法 | 第21-29页 |
| 2.1.1 背散射分析 | 第23-28页 |
| 2.1.2 前向反冲探测 | 第28-29页 |
| 2.2 扫描电子显微镜分析 | 第29-31页 |
| 2.3 激光拉曼分析技术 | 第31-33页 |
| 2.4 掠入射X射线衍射分析 | 第33-35页 |
| 第三章 磁控溅射镀膜 | 第35-41页 |
| 3.1 溅射镀膜的基本原理 | 第35-36页 |
| 3.2 磁控溅射镀膜 | 第36-37页 |
| 3.3 反应磁控溅射镀膜 | 第37-39页 |
| 3.4 实验条件控制 | 第39-41页 |
| 第四章 实验结果与讨论 | 第41-61页 |
| 4.1 元素含量的离子束分析 | 第41-48页 |
| 4.1.1 定标处理 | 第41-45页 |
| 4.1.2 薄膜元素含量测定 | 第45-48页 |
| 4.2 相成分的掠入射XRD分析 | 第48-53页 |
| 4.2.1 不同沉积温度薄膜 | 第48-50页 |
| 4.2.2 不同沉积功率薄膜 | 第50-51页 |
| 4.2.3 不同工作气压薄膜 | 第51-52页 |
| 4.2.4 不同退火温度薄膜 | 第52-53页 |
| 4.3 表面形貌SEM扫描电镜分析 | 第53-59页 |
| 4.4 拉曼谱分析 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
