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新型阻变存储器用铁酸铋薄膜阻变性能与机理的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-20页
    1.1 钙钛矿型铁酸铋薄膜简介第10-11页
    1.2 阻变存储器第11-13页
    1.3 阻变效应主要机制第13-17页
        1.3.1 导电细丝模型第14-15页
        1.3.2 陷阱能级对电荷的捕获和释放第15页
        1.3.3 极化调制阻变模型第15-16页
        1.3.4 氧空位调制(肖特基)界面势垒模型第16-17页
    1.4 研究现状第17-18页
    1.5 本论文研究意义及主要研究内容第18-20页
第2章 铁酸铋薄膜基本电学表征及分析第20-32页
    2.1 基于STO衬底的SRO/BFO/Au实验样品的制备第20-22页
    2.2 样品表征及结果分析第22-30页
        2.2.1 XRD分析及应力分析第22-24页
        2.2.2 电滞回线第24-27页
        2.2.3 印记分析第27页
        2.2.4 剩余极化保持特性第27-29页
        2.2.5 疲劳特性第29-30页
    2.3 本章小结第30-32页
第3章 铁酸铋薄膜的导电机制和阻变机制第32-46页
    3.1 铁酸铋薄膜的阻变现象第32-33页
        3.1.1 小于矫顽电压下的阻变现象第32-33页
        3.1.2 大于矫顽电压下的阻变现象第33页
    3.2 阻变薄膜的主要导电机制第33-37页
        3.2.1 欧姆导电机制第34页
        3.2.2 SCLC导电机制第34-35页
        3.2.3 FN导电机制第35页
        3.2.4 SE导电机制第35-36页
        3.2.5 PF导电机制第36-37页
    3.3 BFO薄膜的导电机制第37-41页
    3.4 阻变机制第41-44页
    3.5 本章小结第44-46页
第4章 极化对铁酸铋薄膜阻变效应的影响第46-56页
    4.1 极化翻转历史对铁电薄膜的影响第46-48页
        4.1.1 极化翻转历史对铁电薄膜剩余极化的影响第46-47页
        4.1.2 极化翻转历史对铁电薄膜矫顽电压的影响第47页
        4.1.3 极化翻转历史对铁电薄膜印记效应的影响第47-48页
    4.2 极化翻转历史对阻变效应的影响第48-53页
        4.2.1 阻变行为与电滞回线对比第48-49页
        4.2.2 原始未极化样品与极化后样品对比及TSC温度验证第49-52页
        4.2.3 相反极化状态对阻变曲线影响第52-53页
    4.3 极化对保持特性的影响第53-55页
        4.3.1 铁酸铋薄膜阻变保持特性第53-54页
        4.3.2 相反极化状态下低阻态保持特性第54-55页
    4.4 本章小结第55-56页
结论第56-58页
参考文献第58-62页
攻读学位期间发表的学术论文第62-64页
致谢第64页

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