| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题背景、目的与意义 | 第8-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 2 丝网印刷生产线控制系统方案设计 | 第14-22页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 硅片丝网印刷生产工艺与需求分析 | 第14-16页 |
| 2.3 硅片丝网印刷机控制系统设计 | 第16-20页 |
| 2.4 生产线辅助设备控制系统设计与上下位设备交互 | 第20-21页 |
| 2.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 丝网印刷机电机运动控制实现 | 第22-30页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 旋转伺服电机控制与外部定位实现 | 第22-26页 |
| 3.3 硅片高速输送直线电机的控制实现 | 第26-28页 |
| 3.4 直线步进电机的控制实现 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 丝网印刷机凸轮机电系统的分析与建模 | 第30-45页 |
| 4.1 引言 | 第30页 |
| 4.2 凸轮机构的运动分析 | 第30-34页 |
| 4.3 凸轮机电系统的负载分析与运动优化 | 第34-41页 |
| 4.4 凸轮机电系统的建模 | 第41-44页 |
| 4.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 丝网印刷机凸轮机构控制方法设计、仿真与实验 | 第45-58页 |
| 5.1 引言 | 第45页 |
| 5.2 神经网络算法在运动控制中的应用 | 第45-47页 |
| 5.3 单神经元 PID 的算法设计 | 第47-48页 |
| 5.4 凸轮机电系统仿真与分析 | 第48-54页 |
| 5.5 基于 PMAC 控制卡的负载扰动及轨迹控制实验 | 第54-57页 |
| 5.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 全文总结 | 第58页 |
| 6.2 研究展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 附录 | 第65页 |