| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 氧化锌(ZnO)概述 | 第10-16页 |
| 1.1 ZnO的基本性质 | 第10-11页 |
| 1.2 ZnO的特性 | 第11-12页 |
| 1.2.1 ZnO的电学特性 | 第11-12页 |
| 1.2.2 ZnO的压电特性 | 第12页 |
| 1.2.3 ZnO的气敏特性 | 第12页 |
| 1.3 ZnO的应用 | 第12-14页 |
| 1.3.1 ZnO基发光器件 | 第12-13页 |
| 1.3.2 压电器件 | 第13页 |
| 1.3.3 场效应晶体管 | 第13-14页 |
| 1.4 ZnO纳米结构的研究进展 | 第14-16页 |
| 2 ZnO纳米结构的制备方法及表征 | 第16-23页 |
| 2.1 ZnO纳米结构的生长机制 | 第16-18页 |
| 2.1.1 气-液-固(V-L-S)生长机制 | 第16-17页 |
| 2.1.2 气-固(V-S)生长机制 | 第17-18页 |
| 2.2 ZnO的制备方法 | 第18-19页 |
| 2.2.1 热蒸发法 | 第18页 |
| 2.2.2 磁控溅射法 | 第18页 |
| 2.2.3 化学气相沉积法(CVD) | 第18-19页 |
| 2.2.4 其它制备方法 | 第19页 |
| 2.3 ZnO的表征技术 | 第19-23页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第20-21页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第21页 |
| 2.3.3 光致荧光谱测试(Photoluminescence) | 第21-23页 |
| 3 真空热蒸发输运法制备ZnO纳米结构 | 第23-29页 |
| 3.1 籽晶的制备 | 第23-24页 |
| 3.1.1 实验设备简介 | 第23-24页 |
| 3.1.2 实验过程 | 第24页 |
| 3.2 Au膜的制备 | 第24-25页 |
| 3.2.1 实验设备简介 | 第24-25页 |
| 3.2.2 实验过程 | 第25页 |
| 3.3 ZnO纳米结构的制备 | 第25-29页 |
| 3.3.1 实验设备简介 | 第26-27页 |
| 3.3.2 参数设定 | 第27页 |
| 3.3.3 实验过程 | 第27-28页 |
| 3.3.4 样品表征 | 第28-29页 |
| 4 ZnO纳米结构的影响因素及奇特形貌分析 | 第29-46页 |
| 4.1 生长温度对ZnO纳米结构的影响 | 第29-42页 |
| 4.1.1 生长温度对无催化剂制备的ZnO纳米结构的影响 | 第29-34页 |
| 4.1.2 生长温度对长籽晶制备的ZnO纳米结构的影响 | 第34-38页 |
| 4.1.3 生长温度对Au作催化剂制备的ZnO纳米结构的影响 | 第38-42页 |
| 4.1.4 本节小结 | 第42页 |
| 4.2 ZnO纳米结构的奇特形貌分析 | 第42-45页 |
| 4.2.1 实验现象及生长机理分析 | 第42-45页 |
| 4.2.2 本节小结 | 第45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
