横向阵列结构肖特基结辐照电池设计
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 选题背景和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 辐照电池的发展现状 | 第16-20页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第20-23页 |
| 第二章 辐照电池的工作原理 | 第23-29页 |
| 2.1 辐照对半导体的作用 | 第23-24页 |
| 2.2 辐照电池的结构及工作原理 | 第24-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 辐照电池的分类及提高性能的方法 | 第29-37页 |
| 3.1 辐照电池的分类及特点 | 第29-33页 |
| 3.2 提高辐照电池性能的主要方法 | 第33-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 基于横向阵列结构的肖特基结辐照电池设计 | 第37-51页 |
| 4.1 电池结构的设计 | 第37-39页 |
| 4.1.1 换能单元结构的设计 | 第37-38页 |
| 4.1.2 电池版图的设计 | 第38-39页 |
| 4.2 辐照源的选取 | 第39-40页 |
| 4.3 辐照电池结构参数的确定 | 第40-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 工艺设计及重点问题研究 | 第51-59页 |
| 5.1 电池的工艺制备流程 | 第51-54页 |
| 5.1.1 制备工艺流程 | 第51页 |
| 5.1.2 外延片的生长及标准清洗 | 第51-52页 |
| 5.1.3 掺杂及n型欧姆接触的形成 | 第52-53页 |
| 5.1.4 金属沟槽的刻蚀及肖特基接触的形成 | 第53-54页 |
| 5.1.5 辐照保护层的制作 | 第54页 |
| 5.2 工艺中重要问题的研究 | 第54-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 作者简介 | 第67-68页 |
