强激光作用下终端光学组件颗粒污染物的吸附及实验研究
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
第1章 绪论 | 第9-15页 |
1.1 课题来源 | 第9页 |
1.2 课题研究背景与意义 | 第9-11页 |
1.3 颗粒污染物的产生 | 第11-12页 |
1.4 颗粒吸附的研究现状及分析 | 第12-13页 |
1.5 论文主要研究内容 | 第13-15页 |
第2章 金属铝颗粒在熔石英表面吸附的仿真研究 | 第15-31页 |
2.1 引言 | 第15页 |
2.2 分子动力学仿真理论 | 第15-20页 |
2.2.1 建立几何模型 | 第16-17页 |
2.2.2 初始条件与系综 | 第17-18页 |
2.2.3 势能函数 | 第18-20页 |
2.3 熔石英模型的建立 | 第20-21页 |
2.4 铝颗粒在熔石英表面的吸附过程分析 | 第21-27页 |
2.4.1 铝颗粒在熔石英表面的吸附模型 | 第21-22页 |
2.4.2 吸附过程的仿真结果及讨论 | 第22-27页 |
2.5 粗糙度对熔石英表面吸附特性的影响分析 | 第27-30页 |
2.5.1 吸附模型的建立 | 第28页 |
2.5.2 吸附过程的仿真结果及分析 | 第28-30页 |
2.6 本章小结 | 第30-31页 |
第3章 激光与熔石英表面铝颗粒作用的仿真研究 | 第31-42页 |
3.1 引言 | 第31页 |
3.2 铝颗粒与熔石英光滑表面的作用研究 | 第31-33页 |
3.2.1 铝颗粒与熔石英光滑表面的作用模型 | 第31-32页 |
3.2.2 作用结果及分析 | 第32-33页 |
3.3 铝颗粒在熔石英表面缺陷的吸附研究 | 第33-34页 |
3.3.1 铝颗粒在熔石英表面缺陷吸附的模型 | 第33页 |
3.3.2 吸附的结果及分析 | 第33-34页 |
3.4 激光与熔石英表面铝颗粒的作用研究 | 第34-41页 |
3.4.1 激光与材料作用的分子动力学模拟方法 | 第35-37页 |
3.4.2 激光与小尺寸铝颗粒的作用研究 | 第37-39页 |
3.4.3 激光与大尺寸铝颗粒的作用研究 | 第39-41页 |
3.5 本章小结 | 第41-42页 |
第4章 颗粒污染物吸附力的测量实验研究 | 第42-56页 |
4.1 引言 | 第42页 |
4.2 原子力显微镜测定力曲线基本原理 | 第42-44页 |
4.3 原子力显微镜小球探针的制备 | 第44-47页 |
4.3.1 仪器设备和原材料选择 | 第44-45页 |
4.3.2 小球探针的制备 | 第45-47页 |
4.4 利用原子力显微镜对吸附力的测量研究 | 第47-55页 |
4.4.1 测量原理与测量方法 | 第48-49页 |
4.4.2 污染物材料对吸附力的影响研究 | 第49-52页 |
4.4.3 熔石英表面粗糙度对吸附力的影响研究 | 第52-55页 |
4.5 本章小结 | 第55-56页 |
结论 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-62页 |
致谢 | 第62页 |