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强激光作用下终端光学组件颗粒污染物的吸附及实验研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-15页
    1.1 课题来源第9页
    1.2 课题研究背景与意义第9-11页
    1.3 颗粒污染物的产生第11-12页
    1.4 颗粒吸附的研究现状及分析第12-13页
    1.5 论文主要研究内容第13-15页
第2章 金属铝颗粒在熔石英表面吸附的仿真研究第15-31页
    2.1 引言第15页
    2.2 分子动力学仿真理论第15-20页
        2.2.1 建立几何模型第16-17页
        2.2.2 初始条件与系综第17-18页
        2.2.3 势能函数第18-20页
    2.3 熔石英模型的建立第20-21页
    2.4 铝颗粒在熔石英表面的吸附过程分析第21-27页
        2.4.1 铝颗粒在熔石英表面的吸附模型第21-22页
        2.4.2 吸附过程的仿真结果及讨论第22-27页
    2.5 粗糙度对熔石英表面吸附特性的影响分析第27-30页
        2.5.1 吸附模型的建立第28页
        2.5.2 吸附过程的仿真结果及分析第28-30页
    2.6 本章小结第30-31页
第3章 激光与熔石英表面铝颗粒作用的仿真研究第31-42页
    3.1 引言第31页
    3.2 铝颗粒与熔石英光滑表面的作用研究第31-33页
        3.2.1 铝颗粒与熔石英光滑表面的作用模型第31-32页
        3.2.2 作用结果及分析第32-33页
    3.3 铝颗粒在熔石英表面缺陷的吸附研究第33-34页
        3.3.1 铝颗粒在熔石英表面缺陷吸附的模型第33页
        3.3.2 吸附的结果及分析第33-34页
    3.4 激光与熔石英表面铝颗粒的作用研究第34-41页
        3.4.1 激光与材料作用的分子动力学模拟方法第35-37页
        3.4.2 激光与小尺寸铝颗粒的作用研究第37-39页
        3.4.3 激光与大尺寸铝颗粒的作用研究第39-41页
    3.5 本章小结第41-42页
第4章 颗粒污染物吸附力的测量实验研究第42-56页
    4.1 引言第42页
    4.2 原子力显微镜测定力曲线基本原理第42-44页
    4.3 原子力显微镜小球探针的制备第44-47页
        4.3.1 仪器设备和原材料选择第44-45页
        4.3.2 小球探针的制备第45-47页
    4.4 利用原子力显微镜对吸附力的测量研究第47-55页
        4.4.1 测量原理与测量方法第48-49页
        4.4.2 污染物材料对吸附力的影响研究第49-52页
        4.4.3 熔石英表面粗糙度对吸附力的影响研究第52-55页
    4.5 本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-62页
致谢第62页

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