大面积WO3电致变色薄膜的制备及其在智能窗上的应用
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 电致变色材料和器件 | 第12-17页 |
| 1.2.1 电致变色材料 | 第13-14页 |
| 1.2.2 电致变色器件 | 第14-16页 |
| 1.2.3 电致变色材料和器件的性能指标 | 第16-17页 |
| 1.3 WO_3电致变色材料研究现状 | 第17-23页 |
| 1.3.1 WO_3的基本性质 | 第17-18页 |
| 1.3.2 WO_3的变色机理 | 第18页 |
| 1.3.3 WO_3电致变色材料的制备方法 | 第18-23页 |
| 1.4 课题的提出和研究内容 | 第23-24页 |
| 1.4.1 课题的提出 | 第23页 |
| 1.4.2 课题研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 反应溅射制备WO_3薄膜及其性能研究 | 第24-42页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 实验部分 | 第24-27页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第24页 |
| 2.2.2 实验设备和仪器 | 第24-25页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第25-26页 |
| 2.2.4 样品的测试与表征 | 第26-27页 |
| 2.3 结果与分析 | 第27-38页 |
| 2.3.1 薄膜的物相分析 | 第27页 |
| 2.3.2 薄膜的形貌分析 | 第27-28页 |
| 2.3.3 氧氩比对电致变色性能影响 | 第28-34页 |
| 2.3.4 热处理对电致变色性能的影响 | 第34页 |
| 2.3.5 溅射时间对电致变色薄膜厚度的影响 | 第34-36页 |
| 2.3.6 器件的电致变色性能分析 | 第36-38页 |
| 2.4 大面积WO_3薄膜的制备 | 第38-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 射频溅射制备WO_3薄膜及其性能研究 | 第42-56页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 实验部分 | 第42-44页 |
| 3.2.1 实验材料 | 第42页 |
| 3.2.2 实验设备和仪器 | 第42-43页 |
| 3.2.3 实验过程 | 第43-44页 |
| 3.2.4 测试与表征 | 第44页 |
| 3.3 结果与分析 | 第44-54页 |
| 3.3.1 WO_3薄膜的物相分析 | 第44-45页 |
| 3.3.2 WO_3薄膜的形貌分析 | 第45-47页 |
| 3.3.3 射频溅射时间对WO_3薄膜厚度的影响 | 第47页 |
| 3.3.4 WO_3薄膜的电致变色性能分析 | 第47-52页 |
| 3.3.5 器件的电致变色性能分析 | 第52-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 4.1 主要结论 | 第56-57页 |
| 4.2 课题展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-64页 |
| 攻读硕士学位期间获得的学术成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
