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化学气相沉积制备二硫化钼及三氧化钼纳米片

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第9-23页
    1.1 引言第9-11页
    1.2 MoS_2纳米片的制备方法第11-14页
        1.2.1 MoS_2纳米片的物理制备方法第11-12页
        1.2.2 MoS_2纳米片的化学制备方法第12-14页
    1.3 MoO_3纳米片的制备方法第14-15页
        1.3.1 气相沉积法第14-15页
        1.3.2 液相沉积法第15页
    1.4 MoS_2纳米片的应用第15-19页
        1.4.1 MoS_2纳米片在场效应晶体管领域的应用第16-17页
        1.4.2 MoS_2纳米片在光电晶体管领域的应用第17-18页
        1.4.3 MoS_2纳米片在气体传感器领域的应用第18页
        1.4.4 MoS_2纳米片在锂、钠电池及太阳能电池领域的应用第18-19页
    1.5 MoO_3纳米片的应用第19-21页
        1.5.1 MoO_3纳米片在润滑剂上的应用第19页
        1.5.2 MoO_3纳米片在电致变色系统上的应用第19-20页
        1.5.3 MoO_3纳米片在电池电极上的应用第20页
        1.5.4 MoO_3纳米片在光学器件上的应用第20页
        1.5.5 MoO_3纳米片在传感器上的应用第20-21页
        1.5.6 MoO_3纳米片在催化剂上的应用第21页
    1.6 本文研究内容第21-23页
第二章 实验方法第23-31页
    2.1 设备及工艺步骤第23-25页
    2.2 基体材料的选择和预处理第25-26页
    2.3 先驱体的选择第26页
    2.4 样品的表征与性能检测第26-30页
        2.4.1 表面形貌表征第26-28页
        2.4.2 样品结构成分表征第28-29页
        2.4.3 样品的光致发光测试第29-30页
    2.5 本章小结第30-31页
第三章 MoS_2纳米片的制备和表征第31-41页
    3.1 不同实验装置对MoS_2纳米片形貌的影响第32-35页
        3.1.1 单温区管式炉第32-33页
        3.1.2 双温区管式炉第33-35页
    3.2 Si基体与S源的距离对MoS_2纳米片的影响第35-39页
        3.2.1 Si基体与S源的距离对MoS_2纳米片形貌的影响第36-37页
        3.2.2 Si基体与S源的距离对MoS_2纳米片结构和成分的影响第37-39页
        3.2.3 MoS_2纳米片的Raman及PL测试和分析第39页
    3.3 MoS_2纳米片可能的生长机理第39页
    3.4 本章小结第39-41页
第四章 MoO_3纳米片的制备和表征第41-49页
    4.1 MoO_3纳米片的制备第41页
    4.2 MoO_3微片的制备第41页
    4.3 退火时间对MoO_3纳米片形貌的影响第41-43页
    4.4 MoO_3纳米片的结构成分表征及分析第43-47页
    4.5 本章小结第47-49页
第五章 总结与展望第49-51页
    5.1 本文的主要研究工作及结论第49-50页
    5.2 展望第50-51页
参考文献第51-61页
致谢第61-63页
硕士期间发表论文第63页

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