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仿神经元突触行为的碳纳米管晶体管制备技术的研究

摘要第3-4页
Abstract第4页
1 引言第7-19页
    1.1 研究背景第7页
    1.2 神经元突触与研究相关性第7-10页
        1.2.1 神经元突触简述第7-9页
        1.2.2 神经元突触生理活动机理第9-10页
    1.3 仿神经元突触行为技术发展第10-17页
        1.3.1 仿神经元突触行为的无结型薄膜晶体管第10-13页
        1.3.2 仿神经元突触行为的碳纳米管晶体管第13-17页
    1.4 本研究的选题依据及主要内容第17-19页
        1.4.1 本研究的选题依据第17-18页
        1.4.2 研究主要内容及结构第18-19页
2 薄膜晶体管原理和分类第19-22页
    2.1 薄膜晶体管原理第19-20页
    2.2 薄膜晶体管分类第20-22页
3 碳纳米管的研究第22-26页
    3.1 碳纳米管概述第22-23页
    3.2 碳纳米管的性质第23-26页
        3.2.1 电学特性第23页
        3.2.2 CNT敏感性第23-24页
        3.2.3 CNT的制备第24页
        3.2.4 CNT的提纯第24-26页
4 碳纳米管晶体管的制备设备和表征技术第26-33页
    4.1 工艺设备第26-29页
        4.1.1 电子束蒸发系统第26-27页
        4.1.2 等离子体增强化学气相淀积第27-28页
        4.1.3 刻蚀机第28-29页
    4.2 表征技术第29-33页
        4.2.1 扫描电子显微镜第29-30页
        4.2.2 原子力显微镜第30页
        4.2.3 半导体特性分析系统第30-31页
        4.2.4 真空探针台第31-33页
5 碳纳米管突触晶体管的研究和制备第33-45页
    5.1 电双层栅介质的研究和制备第33-35页
    5.2 碳纳米管分散液法研究和制备第35-39页
        5.2.1 CNT固体的分散第35-36页
        5.2.2 分散均匀性第36-37页
        5.2.3 CNT网络的沉积第37-39页
    5.3 碳纳米管突触晶体管的制备第39-43页
        5.3.1 准备工作第39页
        5.3.2 表征设备第39-40页
        5.3.3 具体实验步骤第40-43页
    5.4 微观表征第43-45页
6 碳纳米管突触晶体管的电学性能及仿神经突触行为第45-59页
    6.1 碳纳米管突触晶体管电学性能分析第45-50页
        6.1.1 性能参数测量过程第45页
        6.1.2 晶体管性能参数计算第45-50页
    6.2 碳纳米管突触晶体管的仿神经突触行为第50-59页
        6.2.1 碳纳米管突触晶体管仿神经突触行为的测试第50-57页
        6.2.2 碳纳米管突触晶体管仿神经突触可塑性的测试第57-59页
7 结论与展望第59-61页
    7.1 结论第59页
    7.2 展望第59-61页
参考文献第61-66页
致谢第66-68页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第68页

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