| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 微量气体分析的研究内容及现状 | 第8-10页 |
| 1.3 选题意义及课题主要工作 | 第10-12页 |
| 第二章 微量气体四极质谱检测及其总气体量测量的理论分析 | 第12-26页 |
| 2.1 微量气体组成成分的测量方法 | 第12-18页 |
| 2.1.1 四极质谱法 | 第12-14页 |
| 2.1.2 其他几种常见的微量气体分析方法 | 第14-18页 |
| 2.1.3 四极质谱法和其他几种微量气体分析方法的对比总结 | 第18页 |
| 2.2 四极质谱离子源的理论分析 | 第18-22页 |
| 2.2.1 四极质谱仪的离子源对微量气体分析的影响 | 第18-20页 |
| 2.2.2 四极质谱离子源的结构 | 第20-21页 |
| 2.2.3 微量气体四极质谱分析对离子源结构的选择 | 第21-22页 |
| 2.3 微量气体总气体量的测量方法 | 第22-26页 |
| 2.3.1 非破坏性测量方法 | 第22-24页 |
| 2.3.2 破坏性测量方法 | 第24-25页 |
| 2.3.3 方法对比总结 | 第25-26页 |
| 第三章 微量气体分析中四极质谱离子源的研究 | 第26-40页 |
| 3.1 封闭式离子源电子入射孔径的探究 | 第26-34页 |
| 3.1.1 封闭式离子源内的压强与电子入射孔径之间的关系 | 第26-29页 |
| 3.1.2 封闭式离子源的电势分布与电子入射孔径之间的关系 | 第29-31页 |
| 3.1.3 闭式离子源电子的入射效率与电子入射孔径之间的关系 | 第31-33页 |
| 3.1.4 电离空间形成最大离子流时的电子入射孔径 | 第33-34页 |
| 3.2 封闭式离子源灯丝结构的改进型 | 第34-38页 |
| 3.2.1 线型灯丝发射电子的入射效率 | 第34-35页 |
| 3.2.2 带电子反射器的线型灯丝发射封闭式离子源 | 第35-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 微量气体超高灵敏度四极质谱分析的实验研究 | 第40-50页 |
| 4.1 实验装置及电子倍增器的选配 | 第40-41页 |
| 4.1.1 实验装置原理图 | 第40-41页 |
| 4.1.2 高增益电子倍增器的选配 | 第41页 |
| 4.2 空心小球内部微量气体成分的实验分析 | 第41-46页 |
| 4.2.1 实验装置超高灵敏度的测试 | 第41-42页 |
| 4.2.2 空心小球内部气体成分的实验分析 | 第42-46页 |
| 4.3 空心小球内分压强的测量 | 第46-49页 |
| 4.3.1 空心小球内分压强的测量方法 | 第46-47页 |
| 4.3.2 空心小球内分压强的测量实验 | 第47-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第50-51页 |
| 5.2 展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 作者简介 | 第58页 |
