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压电陶瓷作动器的纳米定位与跟踪控制方法研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-9页
第1章 绪论第13-26页
    1.1 课题背景及意义第13-14页
    1.2 国内外研究现状第14-20页
        1.2.1 开环控制方法第14-15页
        1.2.2 反馈控制方法第15-17页
        1.2.3 反馈结合前馈控制方法第17页
        1.2.4 基于扰动观测器的控制方法第17-18页
        1.2.5 压电陶瓷作动器控制中存在的问题第18-19页
        1.2.6 多自由度压电陶瓷作动器驱动的定位系统控制第19-20页
    1.3 压电陶瓷的应用第20-24页
    1.4 本文主要研究内容第24-26页
第2章 压电陶瓷的非线性分析及其二阶模型的系统辨识第26-37页
    2.1 引言第26页
    2.2 压电陶瓷作动器理论基础第26-29页
        2.2.1 压电陶瓷概述第26-27页
        2.2.2 压电效应第27-28页
        2.2.3 压电陶瓷作动器第28-29页
    2.3 压电陶瓷的非线性特性第29-32页
        2.3.1 蠕变特性第29-30页
        2.3.2 迟滞特性第30-32页
        2.3.3 温度特性第32页
    2.4 压电陶瓷作动器二阶模型的系统辨识第32-35页
        2.4.1 压电陶瓷作动器实验设备描述第33页
        2.4.2 压电陶瓷二阶系统建模方法第33-35页
        2.4.3 压电陶瓷二阶模型系统辨识第35页
    2.5 本章小结第35-37页
第3章 压电陶瓷作动器的滑模控制方法研究第37-50页
    3.1 引言第37-38页
    3.2 问题的描述第38-39页
    3.3 控制器设计及稳定性分析第39-41页
    3.4 实验及分析第41-45页
        3.4.1 控制器实现遇到的问题第42页
        3.4.2 阶跃响应第42-44页
        3.4.3 正弦信号跟踪第44页
        3.4.4 控制结果分析第44-45页
    3.5 本章小结第45-50页
第4章 压电陶瓷作动器的输出反馈滑模观测器控制方法研究第50-62页
    4.1 引言第50-51页
    4.2 问题的描述第51页
    4.3 控制器设计第51-52页
    4.4 稳定性分析第52-55页
    4.5 实验及分析第55-57页
        4.5.1 阶跃响应第55页
        4.5.2 阶梯信号响应第55页
        4.5.3 正弦信号跟踪第55-56页
        4.5.4 扰动估计第56-57页
    4.6 本章小结第57-62页
第5章 压电陶瓷作动器的输出反馈积分控制方法研究第62-82页
    5.1 引言第62-63页
    5.2 问题的描述第63页
    5.3 控制器设计第63-64页
    5.4 稳定性分析第64-68页
    5.5 实验及分析第68-75页
        5.5.1 阶跃信号响应第68-69页
        5.5.2 阶梯信号响应第69页
        5.5.3 正弦信号跟踪第69-73页
        5.5.4 三角波信号跟踪第73-75页
        5.5.5 迟滞特性补偿第75页
        5.5.6 鲁棒性分析第75页
    5.6 本章小结第75-82页
第6章 压电陶瓷作动器的有限时间终端滑模控制方法研究第82-96页
    6.1 引言第82页
    6.2 问题的描述第82-83页
    6.3 控制器设计第83-86页
        6.3.1 终端滑模控制器设计第83-84页
        6.3.2 滑模扰动观测器设计第84-86页
    6.4 稳定性分析第86-87页
    6.5 仿真与分析第87-92页
        6.5.1 压电陶瓷作动器模型第87页
        6.5.2 阶跃响应第87-88页
        6.5.3 正弦信号跟踪第88-90页
        6.5.4 阶梯信号响应第90-92页
    6.6 本章小结第92-96页
结论第96-99页
参考文献第99-112页
攻读博士学位期间发表的论文及其他成果第112-113页
致谢第113-114页

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