激光干涉阵列条纹形貌测量原理研究—测量微小物体形貌
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 选题依据和研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状和发展态势 | 第11-14页 |
| 1.3 课题研究内容和论文结构安排 | 第14-16页 |
| 第二章 干涉阵列条纹的产生 | 第16-34页 |
| 2.1 剪切干涉原理 | 第16-26页 |
| 2.1.1 横向剪切应用 | 第17-24页 |
| 2.1.2 测量系统分析 | 第24-26页 |
| 2.2 高斯光束空间传播规律 | 第26-27页 |
| 2.3 半导体激光器产生干涉阵列条纹 | 第27-32页 |
| 2.4 氦氖激光器产生干涉阵列条纹 | 第32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 激光干涉条纹阵列的信息采集试验 | 第34-53页 |
| 3.1 三角法测量系统 | 第35-38页 |
| 3.1.1 激光三角法测量原理 | 第35-36页 |
| 3.1.2 基于光栅投射的测量原理 | 第36-38页 |
| 3.2 相位测量技术 | 第38-49页 |
| 3.2.1 傅里叶变换轮廓术 | 第38-45页 |
| 3.2.2 相位测量轮廓术 | 第45-49页 |
| 3.3 控制电流实现相位移动 | 第49-51页 |
| 3.4 利用微位移平台实现相位移动 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 相位解包裹算法 | 第53-69页 |
| 4.1 相位解包裹算法原理 | 第53-56页 |
| 4.1.1 一维相位去包裹基本原理 | 第54-56页 |
| 4.1.2 二维相位解包裹原理 | 第56页 |
| 4.2 最小范数法 | 第56-58页 |
| 4.3 行列差分法 | 第58-62页 |
| 4.3.1 周期相位矫正 | 第62页 |
| 4.4 图像滤波理论的包裹相位噪声去除 | 第62-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 测试系统与分析 | 第69-79页 |
| 5.1 测试系统结构及硬件介绍 | 第69-73页 |
| 5.1.1 测试系统结构设计 | 第69页 |
| 5.1.2 系统硬件介绍 | 第69-71页 |
| 5.1.3 测试系统工作流程 | 第71-73页 |
| 5.2 软件系统介绍 | 第73-75页 |
| 5.2.1 软件开发工具介绍 | 第73-74页 |
| 5.2.2 软件流程设计 | 第74-75页 |
| 5.3 测试结果及误差分析 | 第75-78页 |
| 5.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 总结及展望 | 第79-81页 |
| 6.1 总结 | 第79-80页 |
| 6.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 研究生期间的学术成果 | 第85-86页 |
