基于可变光栅微加速度传感器的研究

致谢	第1-5页
摘要	第5-6页
Abstract	第6-7页
目录	第7-9页
第一章 绪论	第9-28页
·背景	第9-24页
·MEMS及MOEMS简介	第9-13页
·微加速度传感器概述	第13-14页
·微加速度传感器的种类	第14-22页
·微加速度计的应用前景	第22-24页
·研究现状及方向	第24-25页
·本课题主要研究内容和创新点	第25-26页
参考文献	第26-28页
第二章 微加速度计理论分析	第28-43页
·可变衍射光栅的光学特性	第28-34页
·加速度传感理论	第34-39页
·加速度计的基本数学模型	第35-36页
·微机械加速度计的噪声分析	第36-39页
·基于可变光栅的加速度传感理论	第39-41页
·微加速度传感器的测试	第41-42页
参考文献	第42-43页
第三章 微加速度计的结构设计及加工工艺	第43-71页
·微加速度计结构设计	第43-52页
·有限元简介	第43-45页
·质量块结构设计及仿真	第45-52页
·微加速度计结构加工工艺	第52-60页
·光刻技术	第52-54页
·MEMS刻蚀技术	第54-60页
·光源及信号探测	第60-70页
·光源及探测器集成封装的实现	第60-67页
·信号探测电路设计	第67-70页
参考文献	第70-71页
第四章 微位移及加速度传感实验结果及讨论	第71-80页
·位移传感分析	第71-73页
·加速度传感分析	第73-80页
第五章 总结与展望	第80-82页
攻读硕士学位期间主要的研究成果	第82页