基于激光干涉比长仪的光栅线间距测量系统的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-18页 |
| ·论文研究背景和意义 | 第12页 |
| ·国内外发展现状 | 第12-16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 2 线纹瞄准系统结构设计 | 第18-35页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·光电显微镜工作原理 | 第18-23页 |
| ·静态光电显微镜 | 第18-20页 |
| ·动态光电显微镜 | 第20-23页 |
| ·显微镜主体机构 | 第23-27页 |
| ·狭缝及调整装置 | 第27-30页 |
| ·光电探测器 | 第30-33页 |
| ·瞄准系统硬件总体结构 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 光电显微镜硬件处理电路设计 | 第35-43页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·偏置调节电路 | 第35-36页 |
| ·减法运算电路 | 第36-37页 |
| ·信号整形电路 | 第37-39页 |
| ·脉冲发生电路 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 激光干涉测量系统 | 第43-62页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·激光干涉仪测量原理 | 第43-47页 |
| ·单频激光干涉仪 | 第44-45页 |
| ·双频激光干涉仪 | 第45-47页 |
| ·Agilent干涉仪采样软件编程 | 第47-50页 |
| ·空气折射率修正系统 | 第50-61页 |
| ·空气折射率计算公式 | 第50-51页 |
| ·温度测量 | 第51-57页 |
| ·湿度测量 | 第57-58页 |
| ·大气压力测量 | 第58-59页 |
| ·二氧化碳浓度测量 | 第59页 |
| ·PTF系统搭建 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 实验验证及精度分析 | 第62-67页 |
| ·实验装置搭建 | 第62页 |
| ·测试方法及软件 | 第62-64页 |
| ·测试结果 | 第64-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 作者简历 | 第71页 |
