| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·超级电容器的简介 | 第10-16页 |
| ·超级电容器基本原理 | 第10-12页 |
| ·超级电容器的结构及特点 | 第12-15页 |
| ·超级电容器的应用领域和市场前景 | 第15-16页 |
| ·MEMS超级电容器电极材料的发展近况 | 第16-20页 |
| ·本论文的研究内容和研究方法 | 第20-22页 |
| 第二章 实验材料及表征方法 | 第22-30页 |
| ·实验方法及基本方案 | 第22-24页 |
| ·实验原料及仪器设备 | 第24-25页 |
| ·主要实验原料和试剂 | 第24页 |
| ·主要仪器设备 | 第24-25页 |
| ·材料的主要表征方法 | 第25-26页 |
| ·微电极材料的电容性能测试 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 硅基二氧化钛纳米管阵列制备研究 | 第30-44页 |
| ·实验部分 | 第30-32页 |
| ·硅基底上金属钛薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·硅基底上TiO_2纳米管阵列的制备 | 第31-32页 |
| ·实验结果与讨论 | 第32-43页 |
| ·钛薄膜阳极氧化机理 | 第32-33页 |
| ·电压大小对钛薄膜阳极氧化的影响 | 第33-35页 |
| ·电解液对钛薄膜阳极氧化的影响 | 第35-39页 |
| ·两步法阳极氧化钛薄膜 | 第39-41页 |
| ·钛薄膜和二氧化硅的表面粘附性 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 硅基NiO/TiO_2微电极的制备及其电容性能测试 | 第44-50页 |
| ·实验部分 | 第44-45页 |
| ·硅基NiO/TiO_2微电极材料的制备 | 第44-45页 |
| ·实验结果与分析 | 第45-48页 |
| ·SEM形貌分析 | 第45-46页 |
| ·硅基NiO/TiO_2电极材料电化学性能测试 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 基于NiO/TiO_2三维叉指微电极MEMS超级电容器的设计 | 第50-58页 |
| ·结构设计 | 第50-53页 |
| ·NiO/TiO_2叉指电极超级电容器的工艺制作 | 第53-55页 |
| ·金属钛叉指电极制备流程 | 第53-54页 |
| ·NiO/TiO_2三维叉指电极的制备 | 第54-55页 |
| ·PVA-KOH-KI凝胶电解质的制备 | 第55页 |
| ·MEMS超级电容器的组装及测试 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-58页 |
| 第六章 总结和展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 硕士学位期间主要学术成果 | 第68页 |