化学气相垂直提拉法生长ZnO单晶体
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第1章 前言 | 第8-13页 |
| ·研究意义 | 第8页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第8-11页 |
| ·本论文的研究内容 | 第11-13页 |
| 第2章 Zn O多晶原料的提纯研究 | 第13-20页 |
| ·原理与实验 | 第13-17页 |
| ·反应机理与热失重分析 | 第13-16页 |
| ·实验工艺 | 第16-17页 |
| ·结果与讨论 | 第17-19页 |
| ·XRD测试 | 第17-18页 |
| ·ICP-MS测试结果分析 | 第18-19页 |
| ·小结 | 第19-20页 |
| 第3章 Zn O单晶的生长表面及形成机制研究 | 第20-25页 |
| ·加籽晶制备Zn O单晶 | 第20-21页 |
| ·结果与讨论 | 第21-24页 |
| ·表面形貌观察 | 第21-22页 |
| ·表面形貌形成机制讨论 | 第22-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 第4章 化学气相法制备大尺寸Zn O单晶 | 第25-40页 |
| ·高精度低速提拉装置设计 | 第25-27页 |
| ·石英安瓿设计 | 第27-29页 |
| ·Zn O籽晶制备 | 第29-31页 |
| ·实验 | 第29-30页 |
| ·XRD测试 | 第30-31页 |
| ·PL测试 | 第31页 |
| ·小结 | 第31页 |
| ·化学气相垂直提拉法生长Zn O单晶 | 第31-40页 |
| ·Zn O单晶制备 | 第32-33页 |
| ·退火 | 第33页 |
| ·生长表面形貌及化学配比分析 | 第33-34页 |
| ·X射线衍射测试 | 第34-35页 |
| ·电学性能测试 | 第35-36页 |
| ·光学性能测试 | 第36-38页 |
| ·小结 | 第38-40页 |
| 结论 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 在学期间的科研情况 | 第46-47页 |
