紫外生物芯片结构设计及制作方法研究

【摘要】：本文介绍了紫外生物芯片的工作原理和结构,从三个方面入手解决目前紫外生物芯片研制遇到的问题;分别是高性能SI-PIN探测器的设计;紫外发光二极管外延层的设计、模拟和测试;PDMS微通道设计和制作工艺的研究。为了得到较高的短波长响应的SI-PIN探测器就要制作浅结和耗尽层宽度较小的芯片本文通过理论推导并使用APSYS软件进行模拟验证。为了提高紫外LED的效率,本文的研究对象主要为在A1GaN量子阱能带结构中是能扰动发挥的作用。通过A1GaN中不均匀的横向生长和有序的部分A1GaN,其中与无序的A1GaN相比有序的能带间隙更小。有源区的电子经过注入和空穴后能够在特定的部位形成激子,由此一来,就能顺利的避开在缺陷区电子和空穴发生的移动现象和非辐射复合现象。本文还研究了使用再铸模法进行了微流通道基片的制作,使用光刻制作刻蚀法制作出硅阴模,通过过两次模塑成型过程制作了PDMS基片。测试了基质与固化剂的比例基片为10比1盖板为5比1。在汞灯的照射下经过3.5h后实现紫外光照后的非可逆的键合,并在此同时对键合的原理进行了深入的讨论。
【关键词】：SI-PIN AlGaN 紫外发光二管聚二甲基硅氧烷 微流通道
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2014
【分类号】：TN492