柔性微透镜阵列的制作及其光学性质研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·微透镜阵列的发展历史及现状 | 第10-11页 |
| ·微透镜阵列的制作方法 | 第11-14页 |
| ·直写技术 | 第11-12页 |
| ·二元套刻技术 | 第12-13页 |
| ·灰度掩模技术 | 第13页 |
| ·数字无掩模光刻技术 | 第13-14页 |
| ·柔性微透镜阵列 | 第14-17页 |
| ·本论文的工作内容安排 | 第17-18页 |
| ·主要研究工作 | 第17页 |
| ·本文内容安排 | 第17-18页 |
| 第2章 微透镜阵列的设计 | 第18-30页 |
| ·衍射微透镜的设计 | 第18-25页 |
| ·折射型微透镜的设计 | 第25-27页 |
| ·柔性微透镜阵列的设计 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 柔性微透镜阵列的制作 | 第30-58页 |
| ·光刻系统 | 第30-39页 |
| ·数字光刻系统原理 | 第30-34页 |
| ·DMD数字光刻系统组成部分 | 第34-36页 |
| ·实验用品 | 第36-39页 |
| ·实验参数步骤及实验硬件与软件 | 第39-49页 |
| ·轮廓仪的原理及应用 | 第39-43页 |
| ·实验工艺步骤 | 第43-46页 |
| ·实验软件部分 | 第46-48页 |
| ·本试验参数 | 第48-49页 |
| ·实验结果与误差分析 | 第49-57页 |
| ·本实验结果与测试 | 第49-53页 |
| ·误差分析 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 柔性微透镜阵列的形变及光场分析 | 第58-66页 |
| ·对柔性微透镜阵列的折射率的测试 | 第58-61页 |
| ·微透镜阵列的焦距计算以及光场分布测试 | 第61-62页 |
| ·柔性微透镜阵列的形变 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 结论与展望 | 第66-69页 |
| ·结论 | 第66-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 附录 | 第74-75页 |
