| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-37页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·敏感功能材料 | 第14-17页 |
| ·功能材料的概述 | 第14-15页 |
| ·钙钛矿复合氧化物的简介 | 第15-17页 |
| ·钙钛矿复合氧化物的敏感特性 | 第17-28页 |
| ·湿敏特性机理 | 第17-19页 |
| ·气敏特性机理 | 第19-22页 |
| ·钙钛矿复合氧化物敏感特性的研究现状 | 第22-28页 |
| ·传感技术概述 | 第28-33页 |
| ·传感器件的简介及分类 | 第28-31页 |
| ·MEMS 技术的含义和特点 | 第31-32页 |
| ·MEMS 基微传感器件的发展现状 | 第32-33页 |
| ·本论文的选题依据及主要内容 | 第33-37页 |
| ·本论文的选题依据 | 第33-34页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第34-37页 |
| 第2章 钙钛矿复合氧化物的制备及材料表征设备 | 第37-48页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·钛酸铋基钙钛矿复合氧化物的制备方法 | 第37-41页 |
| ·金属有机物分解法简介 | 第37-38页 |
| ·粉体材料、薄膜材料的制备 | 第38页 |
| ·MOD 法实验设备系统 | 第38-41页 |
| ·材料性能表征分析系统 | 第41-45页 |
| ·X 射线衍射仪(XRD) | 第41-42页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第42-43页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第43-44页 |
| ·电子衍射能谱仪(EDS) | 第44-45页 |
| ·微传感器加工工艺设备 | 第45-47页 |
| ·磁控溅射仪 | 第45页 |
| ·光刻机 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 钛酸铋钾粉末湿度传感器的制作及湿敏性能 | 第48-64页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·湿敏测试装置的简介 | 第49-51页 |
| ·湿度发生装置的搭建 | 第49-50页 |
| ·湿敏性能的测试流程 | 第50-51页 |
| ·KBT 粉末的制备及结构表征 | 第51-54页 |
| ·KBT 粉末材料的制备 | 第51页 |
| ·KBT 粉末材料形貌及结构表征 | 第51-54页 |
| ·KBT 粉末湿度传感器的制作及性能测试 | 第54-60页 |
| ·湿度传感器件的制作及老化 | 第54-56页 |
| ·KBT 粉末湿敏性能的分析 | 第56-60页 |
| ·湿敏特性机理的研究 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 离子掺杂对钛酸铋基材料湿敏性能的影响 | 第64-82页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·钛酸铋钠钾(NKBT)/Zr 掺杂 NKBT (Zr-NKBT)的制备 | 第64-65页 |
| ·NKBT 粉末的制备 | 第64页 |
| ·Zr-NKBT 粉末的制备 | 第64-65页 |
| ·NKBT/Zr-NKBT 的结构表征 | 第65-70页 |
| ·NKBT 粉末形貌及结构表征 | 第65-67页 |
| ·Zr-NKBT 粉末形貌及结构表征 | 第67-70页 |
| ·NKBT/Zr-NKBT 粉末湿度传感器的制作及老化 | 第70页 |
| ·NKBT 湿敏性能的测试及湿敏特性机理 | 第70-76页 |
| ·NKBT 粉末湿敏性能的分析 | 第70-73页 |
| ·NKBT 粉末湿敏特性机理的研究 | 第73-76页 |
| ·Zr-NKBT 湿敏性能的测试及湿敏特性机理 | 第76-80页 |
| ·Zr-NKBT 粉末湿敏性能的分析 | 第76-78页 |
| ·Zr-NKBT 粉末湿敏特性机理的研究 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第5章 KBT 粉末气体传感器的制作及气敏性能 | 第82-94页 |
| ·引言 | 第82-83页 |
| ·气敏测试装置的简介 | 第83-86页 |
| ·静态配气系统的简介 | 第83-84页 |
| ·气敏性能的测试流程 | 第84-86页 |
| ·KBT 粉末的制备、结构表征及器件制作 | 第86-87页 |
| ·KBT 粉末材料的制备及结构表征 | 第86页 |
| ·KBT 旁热式气体传感器的制作及老化 | 第86-87页 |
| ·KBT 粉末气敏性能的分析 | 第87-91页 |
| ·KBT 粉末气敏特性机理的研究 | 第91-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第6章 BNdT 薄膜的制备及气敏性能 | 第94-109页 |
| ·引言 | 第94-95页 |
| ·薄膜气敏测试系统的简介 | 第95-97页 |
| ·动态配气系统的简介 | 第95-96页 |
| ·薄膜气敏性能的测试流程 | 第96-97页 |
| ·BNdT 薄膜的制备及结构表征 | 第97-100页 |
| ·BNdT 薄膜材料的制备 | 第97页 |
| ·BNdT 薄膜材料形貌及结构表征 | 第97-100页 |
| ·BNdT 薄膜气体传感器的制作及气敏性能测试 | 第100-105页 |
| ·BNdT 薄膜气体传感器的制作 | 第100-102页 |
| ·BNdT 薄膜气敏性能的分析 | 第102-105页 |
| ·BNdT 薄膜气敏特性机理的研究 | 第105-107页 |
| ·本章小结 | 第107-109页 |
| 第7章 总结和展望 | 第109-113页 |
| ·论文总结 | 第109-111页 |
| ·工作展望 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-123页 |
| 致谢 | 第123-125页 |
| 攻读博士期间发表的论文及研究成果 | 第125页 |