| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-17页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·本文的内容和目的 | 第16-17页 |
| 第二章 薄膜反射镜静电成形理论 | 第17-24页 |
| ·薄膜大挠度形变方程及解法 | 第17-22页 |
| ·静电拉伸薄膜反射镜电极电压值确定 | 第22-24页 |
| 第三章 电极分布设计及有限元仿真 | 第24-32页 |
| ·径向连续压强计算 | 第24-26页 |
| ·径向离散压强计算 | 第26页 |
| ·电极分布分析 | 第26-28页 |
| ·薄膜反射镜的有限元仿真 | 第28-32页 |
| 第四章 薄膜反射镜的面形拟合 | 第32-52页 |
| ·Zernike 多项式 | 第32-34页 |
| ·Householder 变换法 | 第34-40页 |
| ·拟合实例 | 第40-52页 |
| 第五章 薄膜反射镜成形实验系统与测量结果分析 | 第52-59页 |
| ·PET 薄膜 | 第52页 |
| ·薄膜支撑结构 | 第52-53页 |
| ·电极板 | 第53-55页 |
| ·电压控制装置 | 第55-56页 |
| ·实验测量装置 | 第56-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文及科研成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |