| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-9页 |
| ·Flash 产品的历史 | 第6页 |
| ·Flash 产品的工作原理 | 第6-7页 |
| ·Flash 产品的应用及优势 | 第7-9页 |
| 第二章 Flash 产品的制造工艺 | 第9-26页 |
| ·PHOTO 工艺技术介绍 | 第9-12页 |
| ·Nozzle 类型及优缺点介绍 | 第12-22页 |
| ·光阻种类和相关化学反应介绍 | 第22-26页 |
| 第三章 Flash 产品中 Slash Issue 的发现 | 第26-36页 |
| ·Flash 产品中 Slash Issue 的形貌及危害 | 第26-28页 |
| ·Flash 产品中 Defect 类型的分类 | 第26页 |
| ·Flash 产品中 Slash Issue 的形貌 | 第26-28页 |
| ·Flash 产品中 Slash Issue 的检测 | 第28-32页 |
| ·2351 的结构及功能介绍 | 第28-31页 |
| ·SEMVISION 的结构和功能介绍 | 第31-32页 |
| ·Flash 产品中 Slash Issue 的发现 | 第32-33页 |
| ·Flash 产品中 Slash Issue 产生的原因分析 | 第33-36页 |
| 第四章 Flash 产品中 Slash Defect 的解决方法 | 第36-44页 |
| ·光刻工艺中的显影制程 | 第36-37页 |
| ·Slash Defect 的解决方法 | 第37-42页 |
| ·对于解决方法的长期有效性验证 | 第42-44页 |
| 第五章 结论与意义 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48页 |
