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基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-12页
第一章 绪论第12-40页
   ·研究背景概述第12-13页
   ·微能源研究现状第13-19页
     ·微型电池第13-14页
     ·能量采集第14-19页
       ·电磁辐射能第14-16页
       ·热能第16页
       ·振动机械能第16-19页
   ·电磁式振动能量采集器研究进展第19-33页
     ·动铁型第20-25页
     ·线圈振动型第25-31页
     ·铁圈同振型第31-33页
   ·本论文的研究意义和主要内容第33-35页
 参考文献第35-40页
第二章 电磁式振动能量采集器的相关理论及设计与优化第40-83页
   ·电磁式振动能量采集器的基本物理模型及特性分析第40-57页
     ·拾振系统的物理模型及分析第40-54页
     ·能量转换系统的物理模型及分析第54-57页
   ·能量采集器的结构设计与优化第57-77页
     ·拾振系统的设计与优化第59-65页
       ·平面镍弹簧弹性系数的计算第59-60页
       ·拾振系统固有频率的计算第60-62页
       ·拾振系统的模态分析第62-64页
       ·拾振系统的谐响应分析第64-65页
     ·能量转换系统的结构设计与优化第65-77页
       ·输出电压的仿真计算第65-68页
       ·永磁体尺寸对输出电压的影响第68-70页
       ·永磁体振幅对输出电压的影响第70页
       ·永磁体和线圈间距对输出电压的影响第70-71页
       ·线圈尺寸对输出电压的影响第71-74页
       ·线圈内阻对输出功率的影响第74-77页
   ·三明治结构能量采集器的设计第77-80页
   ·本章小结第80-81页
 参考文献第81-83页
第三章 电磁式振动能量采集器的实验制作工艺第83-110页
   ·基本工艺第83-98页
     ·光刻工艺第83-89页
     ·微电镀工艺第89-92页
     ·刻蚀工艺第92-96页
     ·溅射工艺第96-97页
     ·绝缘层工艺第97-98页
     ·研磨抛光工艺第98页
   ·制作工艺流程第98-108页
     ·正胶双层平面线圈制作工艺流程第98-102页
     ·负胶单层线圈制作工艺流程第102-103页
     ·无空气通道的硅基平面镍弹簧制作工艺流程第103-105页
     ·有空气通道的硅基平面镍弹簧制作工艺流程第105-108页
     ·能量采集器的组装第108页
   ·本章小结第108-109页
 参考文献第109-110页
第四章 电磁式振动能量采集器的性能测试与分析第110-129页
   ·测试系统第110-111页
   ·拾振系统的静力学和动力学性能测试第111-118页
     ·平面镍弹簧弹性系数的测定与分析第111-113页
     ·拾振系统固有频率的测定及阻尼比的计算第113-114页
     ·永磁体共振振幅的测定及加速度对它的影响第114-116页
     ·拾振系统共振频率的测定及加速度对它的影响第116-118页
   ·单线圈结构电磁式振动能量采集器的性能测试与分析第118-121页
     ·输出电压的测定第118-119页
     ·振源频率对感应电压大小的影响第119页
     ·弹簧的非线性振动对电压幅频曲线带宽的影响第119-120页
     ·振源加速度对输出电压的大小和频率的影响第120页
     ·负载电阻对输出电压、输出功率的影响第120-121页
   ·三明治结构振动能量采集器的性能测试与分析第121-127页
     ·封闭式三明治结构能量采集器的输出电压测试第122-123页
       ·线圈串联前输出电压的测试第122-123页
       ·串联线圈输出电压的测试第123页
     ·有空气通道的三明治结构能量采集器的性能测试第123-127页
       ·线圈串联前输出电压的测试第123-124页
       ·串联线圈输出电压的测试第124-125页
       ·串联线圈的输出电压与振源频率的关系第125页
       ·串联线圈输出电压的大小和频率与振动加速度的关系第125-126页
       ·负载电阻对输出电压、输出功率的影响第126-127页
   ·本章小结第127-128页
 参考文献第128-129页
第五章 总结与展望第129-132页
致谢第132-133页
攻读博士学位期间发表的学术论文第133-135页

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