中文摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第一章 引言 | 第8-12页 |
·研究背景及意义 | 第8页 |
·国内外发展现状 | 第8-10页 |
·本论文的主要内容 | 第10-12页 |
第二章 光子筛成像机理和理论分析 | 第12-19页 |
·非近轴高数值孔径光子筛模型 | 第12-15页 |
·非近轴远场近似及微孔半径和位置的设计计算 | 第15-18页 |
·本章小结 | 第18-19页 |
第三章 平面光子筛成像特性分析 | 第19-32页 |
·光子筛微孔位置设计表达式 | 第19-21页 |
·微孔密度调制情况 | 第21-23页 |
·蒙特卡洛(Mont Carlo)法进行光子筛公差研究 | 第23-25页 |
·分区光子筛的设计和特性研究 | 第25-30页 |
·分区光子筛的衍射效率特性研究 | 第30-31页 |
·本章小结 | 第31-32页 |
第四章 Zemax 进行光子筛设计和特性分析研究 | 第32-38页 |
·单孔衍射定量比较 | 第32-33页 |
·光子筛设计和计算方法 | 第33-34页 |
·利用ZEMAX 计算不同微孔形状光子筛 | 第34-36页 |
·倾斜入射时光强分布 | 第36-37页 |
·本章小结 | 第37-38页 |
第五章 光子筛实验制作与成像实验 | 第38-46页 |
·光子筛实验制作系统设计方案 | 第38-40页 |
·光子筛聚焦特性 | 第40-42页 |
·分辨率测试板成像实验 | 第42-45页 |
·本章小结 | 第45-46页 |
第六章 总结和展望 | 第46-49页 |
·总结 | 第46-47页 |
·展望 | 第47-49页 |
参考文献 | 第49-53页 |
攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第53-54页 |
致谢 | 第54-55页 |