| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-40页 |
| ·研究背景及意义 | 第15-19页 |
| ·三自由度陀螺在飞行器上的应用 | 第15-16页 |
| ·二自由度陀螺在飞行器上的应用 | 第16-18页 |
| ·本文研究意义 | 第18-19页 |
| ·国内微机械陀螺研究现状 | 第19-25页 |
| ·国外微机械陀螺的发展历程 | 第25-37页 |
| ·论文的研究对象、内容和方法 | 第37-38页 |
| ·研究对象 | 第37页 |
| ·需要解决的问题 | 第37-38页 |
| ·论文的内容和结构 | 第38-40页 |
| 第二章 多功能微机械陀螺的原理与设计 | 第40-67页 |
| ·陀螺原理 | 第40-46页 |
| ·动力学模型 | 第40-44页 |
| ·误差模型 | 第44-46页 |
| ·陀螺总体设计和制作 | 第46-55页 |
| ·陀螺结构 | 第46页 |
| ·陀螺芯片结构仿真 | 第46-47页 |
| ·陀螺芯片制造工艺流程 | 第47-49页 |
| ·陀螺芯片制造掩膜版改进 | 第49-53页 |
| ·陀螺光刻工艺技术问题 | 第53页 |
| ·陀螺光刻工艺技术措施 | 第53-54页 |
| ·陀螺刻蚀工艺技术问题 | 第54页 |
| ·陀螺刻蚀工艺技术措施 | 第54-55页 |
| ·陀螺检测电路设计 | 第55-65页 |
| ·方波发生电路 | 第56页 |
| ·电桥检测电路 | 第56-58页 |
| ·电桥信号差分放大器电路 | 第58-59页 |
| ·第一级运放电路 | 第59-61页 |
| ·第二级运放电路 | 第61-62页 |
| ·第三级运放电路 | 第62-63页 |
| ·全电路传递函数分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第三章 多功能微机械陀螺的性能特征 | 第67-94页 |
| ·单方向运动中多功能微机械陀螺信号分析 | 第67-70页 |
| ·圆锥运动中多功能微机械陀螺信号分析 | 第70-76页 |
| ·圆锥运动合成 | 第70-72页 |
| ·圆锥运动仿真试验 | 第72-74页 |
| ·相对运动与牵连运动 | 第74-76页 |
| ·坐标系的建立和偏航俯仰方向判别 | 第76-83页 |
| ·加速度计信号与转台内环信号相位关系 | 第76-78页 |
| ·陀螺信号与转台内环信号相位关系 | 第78-80页 |
| ·陀螺信号与加速度计信号相位关系 | 第80-83页 |
| ·变滚转转速运动中多功能微机械陀螺信号分析 | 第83-88页 |
| ·陀螺信号幅度与滚转转速的关系 | 第83-84页 |
| ·陀螺标度因数与滚转转速的关系 | 第84-86页 |
| ·陀螺初始相位差与滚转转速的关系 | 第86-88页 |
| ·陀螺静态性能测试 | 第88-92页 |
| ·标度因数试验方法 | 第88-89页 |
| ·标度因数计算方法 | 第89页 |
| ·标度因数非线性计算方法 | 第89页 |
| ·标度因数对称性计算方法 | 第89页 |
| ·标度因数重复性计算方法 | 第89-90页 |
| ·量程验证方法 | 第90页 |
| ·阈值试验方法 | 第90页 |
| ·阈值计算方法 | 第90页 |
| ·分辨率试验方法 | 第90页 |
| ·分辨率计算方法 | 第90页 |
| ·零偏试验方法 | 第90-91页 |
| ·零偏计算方法 | 第91页 |
| ·零偏稳定性计算方法 | 第91页 |
| ·零偏重复性计算方法 | 第91页 |
| ·零偏温度系数试验方法 | 第91页 |
| ·零偏温度系数计算方法 | 第91-92页 |
| ·测试数据汇总 | 第92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第四章 多功能微机械陀螺的信号解算 | 第94-128页 |
| ·理论基础 | 第94页 |
| ·算法推导 | 第94-95页 |
| ·算法实现 | 第95-100页 |
| ·信号去噪处理 | 第95-97页 |
| ·信号峰值获取 | 第97页 |
| ·求解绝对滚转频率和相对滚转频率 | 第97-98页 |
| ·求解陀螺标度因数和初始相位差 | 第98页 |
| ·求解陀螺横向角速度 | 第98页 |
| ·求解方位角 | 第98-99页 |
| ·求解偏航及俯仰角速度和角度 | 第99-100页 |
| ·信号解算试验 | 第100-117页 |
| ·算法验证试验 | 第100-112页 |
| ·大摆角试验 | 第112-115页 |
| ·长时间累加试验 | 第115-117页 |
| ·双陀螺快速解算滚转角速度理论基础 | 第117-119页 |
| ·双陀螺信号解算试验 | 第119-122页 |
| ·微机械陀螺姿态解算程序V1.0 | 第122-126页 |
| ·数据导入 | 第122-123页 |
| ·初始值设定 | 第123页 |
| ·数据解算 | 第123-124页 |
| ·数据查看 | 第124页 |
| ·数据保存 | 第124页 |
| ·其他功能 | 第124-125页 |
| ·软件升级 | 第125-126页 |
| ·本章小结 | 第126-128页 |
| 第五章 多功能微机械陀螺在旋转飞行器姿态控制系统中的应用 | 第128-150页 |
| ·多功能微机械陀螺用于多通道控制的分析 | 第128-134页 |
| ·技术要求 | 第128页 |
| ·调试方法 | 第128-130页 |
| ·试验结果 | 第130-133页 |
| ·试验结论 | 第133页 |
| ·微机械陀螺姿态解算程序V2.0 | 第133-134页 |
| ·多功能微机械陀螺用于单通道控制的分析 | 第134-138页 |
| ·线振动对陀螺信号的影响 | 第138-140页 |
| ·线振动试验工况 | 第138-139页 |
| ·线振动试验步骤 | 第139页 |
| ·线振动试验结果和结论 | 第139-140页 |
| ·陀螺抗冲击性研究 | 第140-149页 |
| ·原因分析 | 第142-144页 |
| ·结构改进机理 | 第144-145页 |
| ·增厚梁陀螺抗冲击验证试验 | 第145-148页 |
| ·增厚梁陀螺抗冲击对比试验 | 第148-149页 |
| ·本章小结 | 第149-150页 |
| 第六章 结束语 | 第150-153页 |
| ·本文主要研究成果及创新点 | 第150-151页 |
| ·后续工作展望 | 第151-153页 |
| 参考文献 | 第153-164页 |
| 附录 硅微机械陀螺仪姿态解算软件 | 第164-172页 |
| 致谢 | 第172-173页 |
| 攻读博士学位期间的学术成果 | 第173-175页 |
| 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第175页 |