| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·研制甲醛气体传感器的意义 | 第8-9页 |
| ·甲醛测定方法及发展 | 第9-10页 |
| ·半导体气敏元件的分类 | 第10-12页 |
| ·半导体甲醛气体传感器研究概况 | 第12-15页 |
| ·硅基薄膜气体传感器 | 第15-17页 |
| ·本文的主要工作 | 第17-18页 |
| 2 传感器电极的ANSYS仿真与制作 | 第18-26页 |
| ·电极结构的ANSYS仿真优化 | 第18-21页 |
| ·不同形状加热电极的仿真 | 第18-19页 |
| ·蛇形加热电极下不同条宽比的热场比较 | 第19-21页 |
| ·传感器电极的制作 | 第21-25页 |
| ·掩膜版的设计制作 | 第21-22页 |
| ·电极的制作工艺流程 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 SnO_2敏感膜溶胶凝胶法制备与性质表征 | 第26-42页 |
| ·溶胶-凝胶法制备二氧化锡薄膜 | 第26-30页 |
| ·溶胶凝胶法(Sol-Gel)的基本原理和特点 | 第26页 |
| ·掺杂1at.%Pd的SnO_2薄膜工艺流程图 | 第26-27页 |
| ·溶胶凝胶法配制胶体 | 第27-29页 |
| ·胶体的涂覆与成膜 | 第29-30页 |
| ·薄膜的特性表征 | 第30-41页 |
| ·差热-热重分析 | 第30-32页 |
| ·XRD测试 | 第32-37页 |
| ·台阶仪测量 | 第37-38页 |
| ·原子力显微镜测试 | 第38-39页 |
| ·扫描电镜实验分析 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 硅基甲醛气体传感器气体检测 | 第42-57页 |
| ·元件的制作 | 第42页 |
| ·测试系统及测试方法 | 第42-45页 |
| ·测试系统 | 第42-45页 |
| ·测试方法 | 第45页 |
| ·工作温度的测量及选择 | 第45-47页 |
| ·不同温度下元件的响应曲线 | 第47页 |
| ·气体浓度对元件响应特性的影响 | 第47-52页 |
| ·未掺杂的SnO_2元件的响应特性 | 第47-48页 |
| ·掺杂1 at.%Pd的SnO_2气敏元件的响应特性 | 第48-49页 |
| ·掺杂前后的SnO_2气敏元件对甲醛的响应比较 | 第49页 |
| ·掺杂1 at.%Pd后元件响应特性提高的原因分析 | 第49-52页 |
| ·元件的响应恢复时间 | 第52-53页 |
| ·元件的选择性 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 5 BP神经网络对混合气体识别研究 | 第57-66页 |
| ·BP神经网络的基本理论与构成 | 第57-58页 |
| ·BP神经网络的构建 | 第58-64页 |
| ·训练样本的选择 | 第58-59页 |
| ·网络隐层激励函数的选择 | 第59-60页 |
| ·BP网络训练方法研究 | 第60-63页 |
| ·隐层节点个数的确定 | 第63-64页 |
| ·结果分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |