| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| §1.1 光学薄膜的发展 | 第9-10页 |
| §1.2 光学塑料 | 第10-12页 |
| ·光学功能聚合物 | 第10-12页 |
| ·聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的性质及应用 | 第12页 |
| §1.3 减反射光学薄膜的设计 | 第12-15页 |
| ·减反射膜概述及性能目标 | 第12-13页 |
| ·单层减反射膜设计 | 第13-15页 |
| §1.4 纳米微结构薄膜 | 第15-20页 |
| ·微结构降低薄膜折射率 | 第16-17页 |
| ·纳米薄膜的制备技术 | 第17-18页 |
| ·纳米结构聚合物薄膜的研究现状 | 第18-20页 |
| §1.5 本论文研究内容 | 第20-22页 |
| 参考文献: | 第22-26页 |
| 第二章 纳米微结构薄膜的研究理论和实验方法 | 第26-44页 |
| §2.1 研究微结构光学薄膜的计算方法: | 第26-30页 |
| ·严格耦合波理论(RCWA) | 第26-28页 |
| ·有效介质理论(EMT) | 第28-29页 |
| ·应用软件介绍 | 第29-30页 |
| §2.2 纳米微结构薄膜形貌表征与性能测试 | 第30-35页 |
| ·薄膜表面微结构形貌 | 第30-34页 |
| ·表面反射率 | 第34-35页 |
| §2.3 纳米多孔PMMA减反射膜的制备方法 | 第35-41页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·实验材料 | 第35-37页 |
| ·实验方法 | 第37-41页 |
| 参考文献: | 第41-44页 |
| 第三章 纳米多孔PMMA减反射膜的性能研究 | 第44-58页 |
| §3.1 引言 | 第44-45页 |
| §3.2 纳米多孔PMMA薄膜的表面形貌和减反射特性 | 第45-47页 |
| §3.3 影响纳米多孔膜微结构的因素 | 第47-55页 |
| ·聚合物组分分子量对纳米微结构的影响 | 第47-49页 |
| ·共混溶液浓度对纳米微结构的影响 | 第49-51页 |
| ·退火温度对纳米微结构的影响 | 第51-53页 |
| ·溶剂对纳米微结构的影响 | 第53-55页 |
| §3.4 纳米多孔PMMA薄膜微结构与减反射特性小结 | 第55-57页 |
| 参考文献: | 第57-58页 |
| 第四章 纳米多孔聚合物薄膜微结构与等效折射率的关系 | 第58-74页 |
| §4.1 引言 | 第58-61页 |
| ·基于EMT理论的结构-折射率模型: | 第59-60页 |
| ·基于传统薄膜理论的结构光学常数模型 | 第60-61页 |
| §4.2 模拟计算与实验结果的对比 | 第61-64页 |
| §4.3 纳米多孔聚合物薄膜光学常数与孔隙率的关系 | 第64-70页 |
| ·孔隙率 | 第64页 |
| ·孔隙率P_v与n的关系模型 | 第64-67页 |
| ·模拟结果 | 第67-70页 |
| §4.4 薄膜厚度对折射率的影响 | 第70-71页 |
| §4.5 微结构-折射率关系分析与讨论 | 第71-72页 |
| 参考文献: | 第72-74页 |
| 第五章 聚合物蛾眼膜(MOTH-EYE)制备与性能研究 | 第74-89页 |
| §5.1 离子轰击对聚合物的表面改性 | 第74-75页 |
| ·离子束轰击过程中的能量转移 | 第74页 |
| ·氧等离子体轰击PMMA表面 | 第74-75页 |
| §5.2 离子轰击PMMA基底制备蛾眼膜微结构 | 第75-81页 |
| ·离子源简介 | 第75-78页 |
| ·氧等离子体轰击PMMA基底 | 第78-79页 |
| ·膜厚监控系统 | 第79-81页 |
| §5.3 实验结果 | 第81-86页 |
| ·蛾眼膜(Moth-Eye)微结构形貌 | 第81-83页 |
| ·蛾眼膜(Moth-Eye)减反射特性 | 第83-86页 |
| §5.4 模拟结果 | 第86-88页 |
| 参考文献: | 第88-89页 |
| 第六章 结论 | 第89-91页 |
| §6.1 对已完成的工作的总结 | 第89-90页 |
| §6.2 存在的不足和建议 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
