| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第一章 引言 | 第6-16页 |
| ·纳米科学技术概要 | 第6页 |
| ·SPM 的发展 | 第6-14页 |
| ·SPM 概述 | 第6-8页 |
| ·SPM 的原理与结构 | 第8-14页 |
| ·课题背景和课题内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 PI 参数自整定SPM 控制器架构 | 第16-25页 |
| ·控制器硬件结构 | 第16-20页 |
| ·DSP-AFM 功能划分 | 第16-17页 |
| ·DSP 主控模块 | 第17-20页 |
| ·控制器软件结构 | 第20-24页 |
| ·上位机应用软件 | 第20页 |
| ·高层通讯协议 | 第20-21页 |
| ·DSP 嵌入式程序 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 PI 参数自整定SPM 控制器原理及实现 | 第25-49页 |
| ·PID 控制原理及实现算法 | 第25-26页 |
| ·数字PID 控制在SPM 中的应用 | 第26-27页 |
| ·SPM 控制系统的数字PID 控制模型建立 | 第27-28页 |
| ·PI 参数自整定SPM 控制器的设计 | 第28-48页 |
| ·PI 参数自整定SPM 控制器原理 | 第28-29页 |
| ·PI 参数自整定SPM 控制器软件设计 | 第29-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 PI 参数自整定SPM 控制器测试 | 第49-61页 |
| ·延迟测试 | 第49-50页 |
| ·PI 参数扫描范围测定 | 第50页 |
| ·参数性能扫描测试 | 第50-52页 |
| ·中值滤波 | 第52-53页 |
| ·满意度映射 | 第53-55页 |
| ·价格函数计算 | 第55页 |
| ·PI 参数选优 | 第55-56页 |
| ·性能验证 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 课题总结 | 第61-62页 |
| 附录 PI 参数自整定SPM 控制器主要程序源代码 | 第62-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 发表文章 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |