柱形表面波等离子体基本参数诊断研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章、引言 | 第9-14页 |
| ·低温等离子体物理的发展与应用 | 第9-10页 |
| ·课题研究背景 | 第10-13页 |
| ·课题主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章、表面波激发等离子体 | 第14-22页 |
| ·高频功率输入等离子体的机理 | 第14-15页 |
| ·表面波的概念 | 第15-16页 |
| ·表面波等离子体的基本原理 | 第16-19页 |
| ·表面波等离子体的激发方式 | 第19-21页 |
| ·表面波激发柱形等离子体 | 第21-22页 |
| 第三章、柱形表面波等离子体密度分布 | 第22-41页 |
| ·柱形表面波等离子体径向密度分布 | 第22-23页 |
| ·柱形表面波等离子体轴向密度分布 | 第23-29页 |
| ·柱形等离子体轴向密度分布的数值模型 | 第23-26页 |
| ·数值模型计算结果 | 第26-29页 |
| ·柱形表面波等离子体密度微波透射诊断 | 第29-38页 |
| ·等离子体密度的求解 | 第32-33页 |
| ·实验数据计算结果 | 第33-37页 |
| ·实验结果分析 | 第37-38页 |
| ·柱形表面波等离子体密度发射光谱(OES)诊断 | 第38-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第四章、柱形表面波等离子体电离阻抗 | 第41-56页 |
| ·表面波激发柱形等离子体的电离阻抗 | 第41-42页 |
| ·柱形等离子体的电离阻抗测量方法 | 第42-49页 |
| ·矢量网络分析仪直接测量法 | 第42-44页 |
| ·功率测量推算法 | 第44-47页 |
| ·匹配测量法 | 第47-49页 |
| ·等离子体功率匹配网络设计 | 第49-50页 |
| ·表面波等离子体电离阻抗的理论分析 | 第50-55页 |
| ·柱形等离子体辐射阻抗的计算 | 第51-52页 |
| ·柱形等离子体欧姆损耗阻抗的计算 | 第52-53页 |
| ·实验结果与数值分析 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第五章、表面波沿柱形等离子体的传播与辐射 | 第56-64页 |
| ·均匀柱形等离子体的色散关系及电磁场分布 | 第56-61页 |
| ·双探针法测量柱形等离子体表面的波矢分布 | 第61-64页 |
| ·实验安排 | 第61-62页 |
| ·实验与计算结果 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第六章、等离子体实验数据采集系统 | 第64-72页 |
| ·虚拟仪器及LabVIEW 入门 | 第64-67页 |
| ·虚拟仪器概述 | 第64-65页 |
| ·LabVIEW 环境简介 | 第65-67页 |
| ·基于LabVIEW 的远程数据采集系统的设计 | 第67-71页 |
| ·硬件组成 | 第67-68页 |
| ·SQL 数据库数据存储操作 | 第68-69页 |
| ·控制命令的发布 | 第69页 |
| ·服务器端 | 第69-70页 |
| ·客户端 | 第70-71页 |
| ·小结 | 第71-72页 |
| 第七章、总结与展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 研究生期间发表和已接受的学术论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
