毫米波MEMS开关和MEMS移相器的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·RF MEMS开关研究概况 | 第8-11页 |
| ·RF MEMS开关的发展 | 第8-9页 |
| ·RF MEMS开关与传统开关比较 | 第9-10页 |
| ·毫米波MEMS开关研究的必要性 | 第10-11页 |
| ·RF MEMS移相器研究概况 | 第11-13页 |
| ·RF MEMS移相器的发展 | 第11-12页 |
| ·RF MEMS移相器与传统移相器比较 | 第12-13页 |
| ·毫米波MEMS移相器研究的必要性 | 第13页 |
| ·本文主要工作 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 2 毫米波MEMS开关 | 第15-38页 |
| ·RF MEMS开关的工作原理 | 第15-20页 |
| ·电容耦合型MEMS开关 | 第16-18页 |
| ·金属接触型MEMS开关 | 第18-20页 |
| ·RF MEMS开关的制作工艺 | 第20-23页 |
| ·RF MEMS制作工艺 | 第20-21页 |
| ·电容耦合型开关一般的制作工艺 | 第21-22页 |
| ·金属接触型开关一般的制作工艺 | 第22-23页 |
| ·RF MEMS开关的失效分析 | 第23-25页 |
| ·断裂失效 | 第23-24页 |
| ·粘着失效 | 第24-25页 |
| ·残余应力和应力梯度引起的失效 | 第25页 |
| ·毫米波MEMS开关的设计 | 第25-35页 |
| ·毫米波频段考虑 | 第25-26页 |
| ·材料考虑 | 第26页 |
| ·机械考虑 | 第26-27页 |
| ·驱动电压考虑 | 第27页 |
| ·电容耦合型MEMS开关的设计 | 第27-30页 |
| ·金属接触型MEMS开关的设计 | 第30-35页 |
| ·毫米波MEMS开关的制备与测试 | 第35-36页 |
| ·下一步工作 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 3 毫米波MEMS移相器 | 第38-60页 |
| ·用于移相器的MEMS开关设计 | 第39-40页 |
| ·开关线型MEMS移相器 | 第40-45页 |
| ·开关线型MEMS移相器的工作原理 | 第41页 |
| ·开关线型MEMS移相器的设计 | 第41-45页 |
| ·分布式MEMG移相器 | 第45-48页 |
| ·分布式MEMS移相器的工作原理 | 第45-47页 |
| ·分布式MEMS移相器的设计 | 第47-48页 |
| ·反射型MEMS移相器 | 第48-57页 |
| ·反射型MEMS移相器的工作原理 | 第49-51页 |
| ·反射型MEMS移相器的设计考虑 | 第51-52页 |
| ·3dB分支线耦合器的设计 | 第52-54页 |
| ·反射型MEMS移相器的设计 | 第54-57页 |
| ·MEMS移相器的制备与测试 | 第57-58页 |
| ·下一步工作 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 总结与展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录A 测试系统和夹具 | 第66-67页 |
| 附录B 移相器测试数据 | 第67-68页 |
