| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| §1.1 引言 | 第10-11页 |
| §1.2 衍射光栅发展简史 | 第11-14页 |
| §1.3 VLS光栅研究现状 | 第14-17页 |
| §1.4 各章主要内容 | 第17页 |
| 参考文献 | 第17-24页 |
| 第二章 衍射光栅原理与应用简介 | 第24-35页 |
| §2.1 衍射光栅的基本原理 | 第24-29页 |
| ·光栅方程 | 第24-25页 |
| ·光栅的参数和特征 | 第25-28页 |
| ·色散 | 第25页 |
| ·分辨率 | 第25-26页 |
| ·衍射效率 | 第26-27页 |
| ·闪耀 | 第27-28页 |
| ·伪谱线 | 第28页 |
| ·自由光谱区 | 第28页 |
| ·光栅衍射的解释 | 第28-29页 |
| §2.2 衍射光栅分类与应用简介 | 第29-32页 |
| ·衍射光栅分类 | 第29-30页 |
| ·衍射光栅应用简介 | 第30-32页 |
| 参考文献 | 第32-35页 |
| 第三章 变间距光栅全息曝光光路优化设计 | 第35-85页 |
| §3.1 引言 | 第35-36页 |
| §3.2 全息变间距光栅的几何理论 | 第36-48页 |
| §3.3 变间距光栅全息光路的优化计算 | 第48-72页 |
| ·目标函数的推导 | 第50-54页 |
| ·优化计算 | 第54-65页 |
| ·用于位移传感器的VLS光栅 | 第54-60页 |
| (1) 球面波干涉 | 第54-57页 |
| (2) 球面波与非球面波干涉 | 第57-60页 |
| ·用于消像差的VLS光栅 | 第60-65页 |
| (1) 球面波干涉 | 第61-64页 |
| (2) 球面波与非球面波干涉 | 第64-65页 |
| ·记录参数误差影响 | 第65-72页 |
| §3.4 全息平面VLS光栅刻线弯曲程度分析 | 第72-76页 |
| ·刻线弯曲程度函数的推导 | 第72-74页 |
| ·刻线弯曲程度分析 | 第74-76页 |
| §3.5 全息平面VLS光栅线密度分布方程系数研究 | 第76-81页 |
| §3.6 本章小结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 第四章 变间距光栅制作 | 第85-110页 |
| §4.1 引言 | 第85-86页 |
| §4.2 用于位移传感器的VLS光栅制作 | 第86-90页 |
| ·VLS光栅制作流程 | 第86-87页 |
| ·VLS光栅实际制作光路 | 第87-88页 |
| ·VLS光栅制作 | 第88-90页 |
| §4.3 用于消像差的VLS光栅制作工艺初探 | 第90-99页 |
| ·衍射光栅像差理论简介 | 第90-94页 |
| ·球面波干涉制作消像差VLS光栅 | 第94-96页 |
| ·球面波与非球面波干涉制作消像差VLS光栅 | 第96-99页 |
| §4.4 两个相关问题 | 第99-102页 |
| ·干涉条纹稳定性 | 第99-101页 |
| ·VLS光栅线密度分布的检测方法 | 第101-102页 |
| §4.5 本章小结 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-110页 |
| 第五章 变间距光栅位移传感器研究 | 第110-133页 |
| §5.1 引言 | 第110-111页 |
| §5.2 VLS光栅位移传感器原理与系统结构 | 第111-114页 |
| ·VLS光栅位移传感器原理 | 第112-113页 |
| ·VLS光栅位移传感器系统结构 | 第113-114页 |
| §5.3 VLS光栅位移传感器测试方法与测试系统 | 第114-118页 |
| §5.4 VLS光栅位移传感器测试结果与分析 | 第118-126页 |
| ·位移分辨率测试 | 第122-123页 |
| ·衍射波长曲线和位移误差曲线 | 第123-126页 |
| §5.5 VLS光栅位移传感器位移误差分析 | 第126-130页 |
| ·平移偏移 | 第127-129页 |
| ·旋转偏移 | 第129-130页 |
| §5.6 本章小结 | 第130-131页 |
| 参考文献 | 第131-133页 |
| 第六章 总结与展望 | 第133-135页 |
| 攻读博士学位期间发表的相关论文 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137页 |