| 第一章 前言 | 第1-16页 |
| ·概述 | 第7-8页 |
| ·气体传感器的种类 | 第8-9页 |
| ·半导体气敏元件的分类及其特点 | 第9-12页 |
| ·半导体气敏元件的发展状况及趋势 | 第12-14页 |
| ·本实验的目的与主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 基体材料制备和相关实验基础知识简介 | 第16-26页 |
| ·51102 和SnO 的制备 | 第16-18页 |
| ·旁热式气敏元件的结构 | 第18-19页 |
| ·气敏元件的制作过程 | 第19-20页 |
| ·气敏元件的特性参数 | 第20-21页 |
| ·气敏元件特性测试电路 | 第21-22页 |
| ·贵金属掺杂与元件气敏性的关系 | 第22-26页 |
| 第三章 乙炔敏感元件的研制 | 第26-37页 |
| ·研制乙炔敏感元件的意义 | 第26页 |
| ·乙炔敏感元件的制作与测试结果 | 第26-31页 |
| ·乙炔敏感元件的敏感机理 | 第31-37页 |
| 第四章 甲醛敏感元件的研制 | 第37-56页 |
| ·研制甲醛敏感元件的意义 | 第37页 |
| ·测试气体的选择与配气方法 | 第37-38页 |
| ·甲醛敏感元件的制作与测试结果 | 第38-52页 |
| ·甲醛敏感元件的敏感机理 | 第52-53页 |
| 小结 | 第53-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 摘要 | 第59-61页 |
| ABSTRACT | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |