多工序制造过程质量分析方法与信息集成技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·研究目的和意义 | 第9-12页 |
| ·相关领域及研究现状 | 第12-17页 |
| ·质量管理的发展 | 第12-14页 |
| ·工序质量分析方法的研究 | 第14-15页 |
| ·多工序制造过程质量控制方法研究 | 第15-16页 |
| ·质量信息的集成 | 第16页 |
| ·XML技术 | 第16-17页 |
| ·课题来源 | 第17-19页 |
| ·论文的主要工作与各章节内容安排 | 第19-21页 |
| 第二章 面向复杂多工序生产系统的质量分析方法研究 | 第21-39页 |
| ·过程能力分析 | 第21-26页 |
| ·几个常用的过程能力指数 | 第22-23页 |
| ·基于过程能力指数的工序质量分析方法 | 第23-24页 |
| ·过程能力指数和合格品率之间的关系 | 第24页 |
| ·过程能力指数的选择 | 第24-26页 |
| ·质量损失 | 第26-29页 |
| ·质量损失原理 | 第26-28页 |
| ·多工序质量损失 | 第28-29页 |
| ·多工序质量损失的实际意义 | 第29页 |
| ·多工序过程能力指数 | 第29-33页 |
| ·过程能力指数与质量损失函数的关系 | 第29-31页 |
| ·多工序过程能力指数模型 | 第31-32页 |
| ·模型的应用 | 第32-33页 |
| ·基于方差分析的多变异抽样模型 | 第33-37页 |
| ·晶圆生产中多变异分析模型的建立 | 第33-35页 |
| ·基于多变异因素的过程能力指数 | 第35-36页 |
| ·晶圆生产中的应用实例 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 多工序过程质量波动探测方法研究 | 第39-55页 |
| ·多工序生产系统 | 第39-42页 |
| ·制造过程中的误差 | 第42-43页 |
| ·误差的来源 | 第42页 |
| ·误差的特点与分类 | 第42-43页 |
| ·多工序制造过程中的误差传递 | 第43-47页 |
| ·单工序误差传递 | 第43-44页 |
| ·多工序误差传递迭代模型 | 第44-45页 |
| ·实例分析 | 第45-47页 |
| ·复合工序质量分析模型 | 第47-48页 |
| ·基于粗糙集的复合工序分析方法 | 第48-53页 |
| ·粗糙集简介 | 第48-49页 |
| ·粗糙集理论应用的一般步骤 | 第49页 |
| ·基于误差传递的知识表示系统 | 第49-50页 |
| ·经典粗糙集中的不一致问题 | 第50-51页 |
| ·基于优先关系的粗糙集方法 | 第51-52页 |
| ·DRSA在复合工序质量分析中的应用 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 多工序制造过程质量信息的表达 | 第55-81页 |
| ·多工序制造过程质量信息流 | 第55-56页 |
| ·基于XML的多工序制造模式质量信息表达体系 | 第56-58页 |
| ·工序质量信息的基本要素 | 第58-59页 |
| ·工序质量数据 | 第58-59页 |
| ·工序质量数据与知识 | 第59页 |
| ·多工序质量信息的XML表达 | 第59-60页 |
| ·多工序质量信息的XML模式 | 第60-68页 |
| ·XML模式与DTD | 第60-61页 |
| ·MMP-XML模式的定义 | 第61-63页 |
| ·MMP -XML模式的标题元素定义 | 第63-64页 |
| ·MMP-XML模式的质量数据元素定义 | 第64-65页 |
| ·MMP-XML模式的质量分析模型定义 | 第65-68页 |
| ·MMP-XML模式的应用实例 | 第68-76页 |
| ·MMP-XML模式文档基本格式 | 第68-70页 |
| ·基于MMP-XML模式的粗糙集模型 | 第70-76页 |
| ·XML质量信息的解析 | 第76-80页 |
| ·XSL | 第76-78页 |
| ·解析实例——XML质量信息的多态表现 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 多工序生产过程质量分析系统的实现 | 第81-93页 |
| ·半导体企业信息管理系统分析 | 第81-84页 |
| ·半导体企业信息管理系统的发展 | 第81-83页 |
| ·MES结构分析 | 第83-84页 |
| ·MMP-QAS实现架构 | 第84-86页 |
| ·MMP-QAS的关系架构 | 第84-85页 |
| ·MMP-QAS的技术架构 | 第85-86页 |
| ·实现MMP-QAS的关键技术 | 第86-90页 |
| ·基于MVC的重构技术 | 第86-88页 |
| ·Java中的XML访问技术 | 第88-90页 |
| ·MMP-QAS应用实例 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第六章 小结与展望 | 第93-95页 |
| ·工作小结 | 第93页 |
| ·展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-101页 |
| 致谢 | 第101-103页 |
| 附录1 XML质量信息模式详细定义 | 第103-113页 |
| 附录2 图目录 | 第113-115页 |
| 附录3 表目录 | 第115-117页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第117页 |
