| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-19页 |
| ·课题研究的背景 | 第12-17页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第17-19页 |
| 2 干涉法测量量块长度的基本原理 | 第19-42页 |
| ·干涉法测量量块长度的基本原理 | 第19-25页 |
| ·干涉条纹的小数部分重合法 | 第19-21页 |
| ·干涉测量装置 | 第21-23页 |
| ·干涉仪 | 第21-22页 |
| ·相移控制驱动系统 | 第22-23页 |
| ·图像采集与处理系统 | 第23页 |
| ·软件系统 | 第23页 |
| ·干涉仪工作原理 | 第23-25页 |
| ·干涉条纹图像的数字化 | 第25-28页 |
| ·干涉图像的采集 | 第25-26页 |
| ·干涉法数字波面复原技术和方法 | 第26-28页 |
| ·强度分析方法 | 第27页 |
| ·相位分析方法 | 第27-28页 |
| ·量块长度测量的数字化干涉术方法 | 第28-41页 |
| ·条纹法 | 第29-30页 |
| ·快速傅立叶变换法(FFT法) | 第30-34页 |
| ·FFT法进行干涉测试的基本原理 | 第30-33页 |
| ·数字化原理 | 第33-34页 |
| ·相位偏移干涉法 | 第34-37页 |
| ·相位偏移干涉术的基本方程 | 第34-36页 |
| ·重叠四步平均法 | 第36-37页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法 | 第37-41页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法原理 | 第38-39页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法处理静态干涉图范例 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 3 静态干涉条纹处理方法研究 | 第42-76页 |
| ·条纹法处理单幅干涉图方法及关键技术 | 第42-49页 |
| ·干涉条纹图小数部分的自动读取 | 第42-45页 |
| ·干涉条纹图像的预处理 | 第42-43页 |
| ·细化后干涉条纹的二次曲线拟合 | 第43-45页 |
| ·干涉条纹整数部分K的确定 | 第45页 |
| ·双波长干涉条纹法测量量块长度 | 第45-47页 |
| ·测量结果的修正 | 第47-49页 |
| ·快速傅立叶变换法(FFT法)处理单幅干涉图方法及关键技术 | 第49-75页 |
| ·处理过程概述 | 第50页 |
| ·干涉图的预处理 | 第50-55页 |
| ·量块边缘的识别 | 第51-53页 |
| ·干涉图阴影校正 | 第53-55页 |
| ·干涉图的区域延拓 | 第55-70页 |
| ·以孔径边缘余弦函数的极值点为相对坐标原点进行外插 | 第56-57页 |
| ·用最小二乘迭代法对干涉条纹图进行插值 | 第57-59页 |
| ·基于二维快速傅立叶变换(2-DFFT)的迭代延拓 | 第59-61页 |
| ·边界对称反转外延 | 第61-63页 |
| ·水平(垂直)方向的边界周期延拓 | 第63-64页 |
| ·基于样本的块重建算法延拓干涉图 | 第64-70页 |
| ·滤波器的设计与选取 | 第70-74页 |
| ·滤波器中心频率的确定 | 第71-72页 |
| ·滤波带宽的确定 | 第72-73页 |
| ·滤波区域的确定 | 第73-74页 |
| ·波面统一 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 4 动态干涉条纹处理方法研究 | 第76-105页 |
| ·相位偏移法干涉图像处理方法及关键技术 | 第76-96页 |
| ·相移干涉术的关键部件-移相器 | 第76-85页 |
| ·压电晶体移相器 | 第76-78页 |
| ·移相器的标定 | 第78-81页 |
| ·移相器的类进动现象对干涉测量的影响 | 第81-85页 |
| ·波面统一 | 第85-90页 |
| ·波面解包原理 | 第86-87页 |
| ·波面解包的种子算法 | 第87-90页 |
| ·干涉条纹图像波面复原 | 第90-93页 |
| ·相移干涉术相位复原处理实例 | 第93-96页 |
| ·光盘基片平整度的测量原理 | 第94-95页 |
| ·测试实例 | 第95-96页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法干涉图像处理方法 | 第96-104页 |
| ·移相参考干涉图的生成 | 第96-97页 |
| ·待测干涉图载频的获取 | 第96页 |
| ·移相参考干涉图的生成 | 第96-97页 |
| ·图像滤波提取莫尔信息 | 第97-104页 |
| ·莫尔条纹图的频谱分析 | 第98-99页 |
| ·莫尔条纹图信息的滤波提取 | 第99-101页 |
| ·窗函数法设计滤波器 | 第101-103页 |
| ·滤波过程流程图 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 5 测量结果处理及数据分析 | 第105-127页 |
| ·干涉图处理算法软件的工程化实现 | 第105-112页 |
| ·核心层设计 | 第106-110页 |
| ·条纹法处理流程图 | 第106-108页 |
| ·快速傅立叶变换法处理流程图 | 第108-109页 |
| ·相位偏移干涉法处理界面及流程图 | 第109页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法处理流程图 | 第109-110页 |
| ·功能层设计 | 第110-112页 |
| ·基于干涉法测量量块不确定度的评定 | 第112-115页 |
| ·影响测量不确定度的因素分析 | 第113-114页 |
| ·标准不确定度的评定 | 第114-115页 |
| ·测量结果及数据分析 | 第115-126页 |
| ·双波长激光干涉法(条纹法)实测量块长度及结果分析 | 第115-116页 |
| ·干涉条纹的数据采集与处理 | 第115页 |
| ·双波长激光干涉法测量量块长度结果及数据分析 | 第115-116页 |
| ·快速傅立叶变换法测量量块结果及数据分析 | 第116-119页 |
| ·相移干涉术测量量块长度实例及数据分析 | 第119-124页 |
| ·干涉条纹图像的数据采集及其离散波面的复原 | 第119-122页 |
| ·数据处理及结果分析 | 第122-124页 |
| ·虚光栅移相莫尔条纹法测量量块结果及数据分析 | 第124-126页 |
| ·本章小结 | 第126-127页 |
| 6 全文总结 | 第127-131页 |
| ·本文所做的工作及创新点 | 第127-128页 |
| ·博士在读期间发表论文情况 | 第128-129页 |
| ·博士在读期间科研和获奖情况 | 第129-131页 |
| ·科研项目 | 第129-130页 |
| ·有关获奖 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-146页 |
