高灵敏氧化钒非致冷红外探测器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·微系统和MEMS | 第9-10页 |
| ·非致冷红外探测器 | 第10-11页 |
| ·微测辐射热计发展与动态 | 第11-18页 |
| ·本论文内容和安排 | 第18-20页 |
| 2 非致冷红外探测器理论、提高探测器性能的途径 | 第20-38页 |
| ·非致冷红外探测器理论 | 第20-33页 |
| ·提高非致冷红外探测器性能的主要途径 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 3 新型中红外高吸收氧化镍铬薄膜 | 第38-47页 |
| ·氧化镍铬NiCr_2O_4发展及现状 | 第38-39页 |
| ·两步法制备氧化镍铬薄膜 | 第39-41页 |
| ·氧化镍铬薄膜性质和分析 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 基于多孔硅牺牲层的氧化钒微测辐射热计 | 第47-75页 |
| ·微测辐射热计传感材料 | 第47-49页 |
| ·离子束溅射氧化钒薄膜 | 第49-56页 |
| ·多孔硅牺牲层工艺 | 第56-60页 |
| ·基于多孔硅牺牲层的氧化钒微测辐射热计 | 第60-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 集成黑金吸收层的氧化钒微测辐射热计 | 第75-95页 |
| ·黑金材料国内外研究现状及意义 | 第75-77页 |
| ·建立黑金薄膜模型和光学计算 | 第77-82页 |
| ·黑金吸收层 | 第82-89页 |
| ·红外探测器集成黑金吸收层 | 第89-91页 |
| ·集成黑金吸收层的氧化钒红外探测器测试 | 第91-93页 |
| ·本章小结 | 第93-95页 |
| 6 基于表面微加工工艺的掺氮氧化钒微测辐射热计 | 第95-113页 |
| ·表面微加工技术 | 第95-96页 |
| ·金属/非金属掺杂氧化钒薄膜 | 第96页 |
| ·掺氮氧化钒薄膜 | 第96-99页 |
| ·掺氮氧化钒微测辐射热计设计 | 第99-100页 |
| ·掺氮氧化钒微测辐射热计仿真 | 第100-106页 |
| ·掺氮氧化钒微测辐射热计制作和系统测试 | 第106-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 7 总结与展望 | 第113-116页 |
| ·全文总结 | 第113-114页 |
| ·主要创新点 | 第114-115页 |
| ·课题与展望 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-130页 |
| 附录 攻读学位期间发表论文目录 | 第130页 |
