| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·硅各向异性腐蚀技术概述 | 第9-12页 |
| ·硅腐蚀技术简介 | 第9-10页 |
| ·硅各向异性腐蚀和各向同性腐蚀比较 | 第10-12页 |
| ·各向异性腐蚀计算机模拟的国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·硅各向异性腐蚀模型 | 第12-13页 |
| ·硅各向异性腐蚀模拟软件 | 第13-15页 |
| ·硅各向异性腐蚀计算机模拟的现实意义和应用前景 | 第15-16页 |
| ·本文开展的工作 | 第16-17页 |
| 2 单晶硅各向异性腐蚀的机理和模拟方法 | 第17-28页 |
| ·单晶硅的晶体结构 | 第17-19页 |
| ·硅晶体相关概念 | 第17-18页 |
| ·腐蚀模型中主要晶面的原子分布 | 第18-19页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀的腐蚀机理 | 第19-23页 |
| ·单晶硅各向异性腐蚀的模拟方法 | 第23-28页 |
| ·几何方法 | 第23-25页 |
| ·原子方法 | 第25-26页 |
| ·本文采用的腐蚀模型 | 第26-28页 |
| 3 硅各向异性腐蚀计算机微观模拟软件的开发 | 第28-50页 |
| ·OpenGL和VC结合开发交互式三维图形软件的方法 | 第28-30页 |
| ·OpenGL技术简介 | 第28-29页 |
| ·Visual C++面向对象程序设计思想 | 第29-30页 |
| ·硅各向异性腐蚀模拟系统的体系结构 | 第30-32页 |
| ·用户交互与窗口界面的搭建 | 第32-38页 |
| ·程序框架的创建 | 第32-35页 |
| ·用户交互菜单及工具条 | 第35-38页 |
| ·腐蚀模型的建立 | 第38-44页 |
| ·硅衬底模型的建立 | 第39-42页 |
| ·腐蚀算法的实现 | 第42页 |
| ·价键断裂速率的确定 | 第42-44页 |
| ·图元输出和三维动态模拟 | 第44-50页 |
| ·基本图元的绘制 | 第44-46页 |
| ·三维动态模拟 | 第46-50页 |
| 4 实验结果的分析和讨论 | 第50-67页 |
| ·凸角补偿的腐蚀结果与分析 | 第52-63页 |
| ·添加条形补偿结构的腐蚀结果和分析 | 第53-56页 |
| ·添加三角形补偿结构的腐蚀结果和分析 | 第56-58页 |
| ·添加方块补偿结构的腐蚀结果和分析 | 第58-63页 |
| ·圆形掩膜的腐蚀结果与补偿分析 | 第63-67页 |
| ·圆形掩膜的腐蚀规律 | 第63-64页 |
| ·为圆形掩膜添加补偿结构的腐蚀结果和分析 | 第64-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 附录A 程序代码 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 大连理工大学学论文版权使用授权书 | 第76页 |