| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·论文研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| ·课题的提出与研究背景 | 第8-10页 |
| ·研究现状与目前国内外的水平 | 第10-11页 |
| ·主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 同步辐射光束线与同步辐射光学元件 | 第13-23页 |
| ·同步辐射光源及同步辐射光束线 | 第13-14页 |
| ·同步辐射光学系统设计 | 第14页 |
| ·同步辐射光学系统及其光学元件的特点 | 第14-16页 |
| ·同步辐射光学元件的超光滑加工方法 | 第16-17页 |
| ·同步辐射光学元件的检测方法 | 第17-23页 |
| 第三章 EUV／X-ray光学元件检测方法的实验研究 | 第23-29页 |
| ·设计要求 | 第23-24页 |
| ·半径与面形检测 | 第24页 |
| ·成像法测量实验装置 | 第24-25页 |
| ·半径与面形误差测量实验 | 第25-26页 |
| ·表面粗糙度测量 | 第26-27页 |
| ·镀膜反射率检测 | 第27-29页 |
| 第四章 LTP仪器工作原理与发展概况 | 第29-33页 |
| ·仪器工作原理 | 第29-30页 |
| ·LTP仪器研制发展历史概况 | 第30-33页 |
| 第五章 LTP-Ⅲ光、机、电、计总体结构方案设计 | 第33-45页 |
| ·现场测量长轨面形仪(LTP-Ⅲ)总体技术指标及功用 | 第33页 |
| ·LTP-Ⅲ总体结构组成 | 第33-35页 |
| ·光学系统图及光学头部件 | 第35-36页 |
| ·LTP-Ⅲ的机械结构 | 第36-39页 |
| ·五棱镜扫描机构及直流电机半闭环伺服控制系统 | 第39页 |
| ·探测器与数据采集卡及计算机系统 | 第39-40页 |
| ·计算机控制与数据分析系统 | 第40-41页 |
| ·检测调整架、激光器与底座 | 第41页 |
| ·LTP光学头光学系统改进设计 | 第41-45页 |
| 第六章 LTP-Ⅲ光学系统调校方法 | 第45-48页 |
| 第七章 LTP-Ⅲ的电路工作原理 | 第48-53页 |
| ·光电二极管线阵工作电路设计 | 第48-51页 |
| ·数据采集卡，A／D变换板A-826PG | 第51页 |
| ·控制与电源板CTRLPW | 第51页 |
| ·直流伺服电动机的控制系统 | 第51-53页 |
| 第八章 LTP-Ⅲ的光、机、电联调与测量实验及应用 | 第53-58页 |
| ·仪器装调要点 | 第53页 |
| ·光、机、电联调及倾斜度测量实验 | 第53-55页 |
| ·测量误差分析 | 第55-56页 |
| ·LTP-Ⅲ的应用--高热负载光学元件的现场测量 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
