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多功能组合传感器的研制

摘   要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 前 言第8-13页
   ·传感器的发展、国外研究现状及发展趋势第8-11页
   ·传感器国内研究现状、课题选题的目的及意义第11-13页
第二章 多功能组合传感器的原理第13-31页
   ·温度传感器的工作原理第13-18页
     ·温度传感器的工作原理第13-15页
     ·温度传感器信号处理电路第15-18页
   ·氧气传感器的工作原理第18-20页
     ·氧气传感器的工作原理第18页
     ·氧气传感器的信号处理电路第18-20页
   ·电容式湿度传感器的工作原理第20-31页
     ·电容式湿度传感器的工作原理第20-22页
     ·电容式传感器的等效电路第22-23页
     ·电容电场的边缘效应第23页
     ·寄生电容的防止第23-25页
     ·湿度传感器信号处理电路第25-31页
第三章 湿度传感器的设计与制作第31-50页
   ·高聚物的极化与介电性能第31-36页
     ·高聚物的极化与极化形式第31-33页
     ·高聚物的介电常数第33-34页
     ·影响介电常数的因素第34-36页
   ·高聚物的介电损耗及影响因素第36-40页
     ·高聚物的介电损耗第36-38页
     ·影响电介质损耗 的因素第38-40页
   ·聚酰胺酸的热环化第40-43页
     ·亚胺化程度的测定第40页
     ·热酰亚胺化反应第40-41页
     ·在热酰亚胺化过程中的交联反应第41-43页
   ·湿度传感器芯片结构及工艺设计第43-45页
   ·湿敏薄膜的测试与分析第45-50页
第四章 多功能组合传感器的电路设计及特性测试第50-60页
   ·温度传感器第50-51页
     ·温度传感器的特性测试第50页
     ·温度传感器信号处理电路的设计第50-51页
   ·氧气传感器第51-52页
     ·氧气传感器的特性测试第51-52页
     ·氧气传感器信号处理电路的设计第52页
   ·湿度传感器第52-55页
     ·湿度传感器的特性测试第52-54页
     ·湿度传感器信号处理电路的设计第54-55页
   ·多功能组合传感器的测试第55-58页
     ·多功能组合传感器整体结构设计第55-56页
     ·多功能组合传感器的特性测试第56-58页
   ·数/模转换及显示模块的设计与制作第58-59页
   ·多功能组合传感器的性能指标第59-60页
第五章 结论及展望第60-61页
参 考 文 献第61-64页
致  谢第64页

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