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面阵CCD-微机系统尺寸自动测试仪的研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-5页
前言第5-8页
第一章 绪论第8-14页
 1.1 研究的目的和意义第8页
 1.2 研究内容第8-9页
 1.3 国内外发展现状第9-12页
 1.4 小结第12-14页
第二章 测试系统概述第14-18页
 2.1 显微-电视系统原理概述第14-15页
 2.2 主要器件第15-18页
第三章 图像处理部分第18-30页
 3.1 简介第18-19页
 3.2 灰度校正第19页
 3.3 图像的滤波第19-23页
 3.4 阈值计算与图像二值化第23-26页
 3.5 边缘抽取第26-30页
第四章 测量原理分析及软件实现第30-49页
 4.1 二维尺寸测量原理分析第30-36页
 4.2 三维尺寸测量方法及原理分析第36-49页
第五章 测量结果及误差分析第49-55页
 5.1 测量仪器及处理效果第49-51页
 5.2 测量结果第51-52页
 5.3 误差分析第52-55页
第六章 结论第55-57页
致谢第57-58页
参考文献第58-59页
附录第59页

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