Sol-Gel法旋转涂覆制备ZnO薄膜及其光电性质的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 引言 | 第8-18页 |
| ·ZnO结构与性质 | 第8-10页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第10-14页 |
| ·磁控溅射法 | 第10-11页 |
| ·化学气相沉积法 | 第11页 |
| ·分子束外延法 | 第11-12页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第12页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第12-14页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第14-16页 |
| ·太阳能电池 | 第14页 |
| ·发光二极管 | 第14-15页 |
| ·传感器材料 | 第15页 |
| ·光催化剂 | 第15-16页 |
| ·本文的研究内容及创新点 | 第16-18页 |
| ·主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·创新点 | 第17-18页 |
| 2 实验方法及表征 | 第18-24页 |
| ·实验原料及设备 | 第18-19页 |
| ·实验所用试剂 | 第18页 |
| ·实验仪器 | 第18-19页 |
| ·制备工艺 | 第19-20页 |
| ·基片的清洗 | 第19页 |
| ·溶胶的制备 | 第19页 |
| ·旋转镀膜 | 第19-20页 |
| ·预热处理 | 第20页 |
| ·高温退火 | 第20页 |
| ·主要表征手段 | 第20-24页 |
| ·X射线衍射 | 第21页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第21页 |
| ·透射电子显微镜 | 第21页 |
| ·光致发光光谱仪 | 第21-22页 |
| ·紫外-可见分光光度计 | 第22页 |
| ·四探针法 | 第22页 |
| ·光催化性能测试 | 第22-24页 |
| 3 ZnO薄膜的制备原理及性质研究 | 第24-36页 |
| ·薄膜的形成原理 | 第24-26页 |
| ·薄膜的热分析 | 第26-27页 |
| ·不同工艺参数对ZnO薄膜性质的影响 | 第27-35页 |
| ·不同溶液浓度对ZnO薄膜性质的影响 | 第27-30页 |
| ·不同陈化时间对ZnO薄膜性质的影响 | 第30-31页 |
| ·转速对ZnO薄膜性质的影响 | 第31-33页 |
| ·不同退火温度对ZnO薄膜性质的影响 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 4 Al~(3+)掺杂ZnO薄膜的制备及性质研究 | 第36-50页 |
| ·Al~(3+)掺杂ZnO薄膜的制备 | 第36页 |
| ·实验结果与讨论 | 第36-49页 |
| ·不同掺Al~(3+)含量对薄膜性质的影响 | 第36-40页 |
| ·不同涂膜层数对薄膜性质的影响 | 第40-44页 |
| ·不同退火温度对薄膜性质的影响 | 第44-47页 |
| ·不同退火气氛对薄膜性质的影响 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 5 Ag~+掺杂对ZnO薄膜性质的影响 | 第50-63页 |
| ·不同工艺对掺Ag~+的ZnO薄膜性质的影响 | 第50-57页 |
| ·不同Ag~+掺杂含量对ZnO薄膜的影响 | 第50-52页 |
| ·不同溶胶浓度对薄膜性质的影响 | 第52-54页 |
| ·不同退火温度薄膜性质的影响 | 第54-57页 |
| ·光催化性能的研究 | 第57-62页 |
| ·光催化机理 | 第57-58页 |
| ·影响因素分析 | 第58-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 6 结论 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
