| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景及其意义 | 第11-12页 |
| 1.2 双阴极等离子溅射沉积技术 | 第12-14页 |
| 1.2.1 双阴极等离子溅射沉积技术原理 | 第12-13页 |
| 1.2.2 双阴极等离子溅射沉积技术的研究进展与应用 | 第13-14页 |
| 1.3 铌化合物的研究与进展 | 第14-16页 |
| 1.3.1 NbC研究与应用 | 第14页 |
| 1.3.2 NbN研究与应用 | 第14-15页 |
| 1.3.3 Nb合金的研究与应用 | 第15-16页 |
| 1.4 材料腐蚀磨损原理 | 第16-18页 |
| 1.4.1 材料磨损原理 | 第16-18页 |
| 1.4.2 金属材料腐蚀 | 第18页 |
| 1.5 研究目的及内容 | 第18-21页 |
| 1.5.1 课题研究目的 | 第18-19页 |
| 1.5.2 课题研究的主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 实验材料与方案设计 | 第21-29页 |
| 2.1 实验仪器与制备工艺 | 第21-23页 |
| 2.1.1 实验仪器 | 第21-22页 |
| 2.1.2 制备工艺 | 第22-23页 |
| 2.2 分析方法和手段 | 第23-28页 |
| 2.2.1 微观组织和相组成分析 | 第23页 |
| 2.2.2 涂层结合力的分析 | 第23-24页 |
| 2.2.3 硬度和弹性模量测量 | 第24-25页 |
| 2.2.4 磨损性能测试 | 第25-26页 |
| 2.2.5 腐蚀性能测试 | 第26-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 涂层的物相鉴定与力学性能研究 | 第29-41页 |
| 3.1 涂层的表面形貌 | 第29-30页 |
| 3.2 涂层的截面分析 | 第30-32页 |
| 3.3 NbCN涂层的XRD分析 | 第32-34页 |
| 3.4 NbCN涂层的韧性分析 | 第34-35页 |
| 3.5 NbCN涂层的硬度和弹性模量分析 | 第35-37页 |
| 3.6 涂层与基体间的结合力分析 | 第37-39页 |
| 3.7 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 涂层的磨损性能研究 | 第41-55页 |
| 4.1 涂层的摩擦系数曲线 | 第41-43页 |
| 4.1.1 常温下摩擦系数曲线 | 第41-42页 |
| 4.1.2 500℃下摩擦系数曲线 | 第42-43页 |
| 4.2 涂层与基体磨痕形貌分析 | 第43-52页 |
| 4.2.1 常温下磨痕形貌分析 | 第43-47页 |
| 4.2.2 500℃下磨痕形貌分析 | 第47-50页 |
| 4.2.3 磨痕三维形貌图 | 第50-52页 |
| 4.3 NbCN涂层的比磨损率 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第5章 涂层的耐腐蚀性能分析 | 第55-65页 |
| 5.1 电化学及能谱(XPS)测试 | 第55页 |
| 5.2 NbCN涂层的腐蚀性能研究 | 第55-62页 |
| 5.2.1 开路电位(OCP)——时间测试 | 第55-57页 |
| 5.2.2 动电位极化曲线测试 | 第57-59页 |
| 5.2.3 电化学阻抗谱分析 | 第59-62页 |
| 5.3 NbCN涂层钝化膜成分XPS分析 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 第6章 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-75页 |
| 附录 攻读硕士期间已发表的论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |