铌酸锂周期极化工艺研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章 绪论	第7-14页
第一节 非线性光学与光子晶体	第7-10页
·非线性光学效应	第8页
·光子晶体	第8-10页
·非线性光子晶体简介	第10页
第二节 铌酸锂非线性光子晶体与畴工程	第10-14页
·铌酸锂简介	第11-12页
·铌酸锂晶体畴工程简介	第12-14页
第二章 铌酸锂铁电畴极化反转机制	第14-36页
第一节 非线性光学效应原理	第14-16页
·晶体中的非线性光学效应	第14-15页
·二阶非线性效应	第15-16页
第二节 非线性光学的相位匹配要求与准相位匹配技术	第16-28页
·各向异性介质的非线性光学系数	第16-18页
·三波相互作用的耦合波方程	第18-19页
·相位匹配实现非线性输出	第19-23页
·相位失配的补偿方法	第23-26页
·准相位匹配技术	第26-28页
第三节 铌酸锂晶体结构与特性	第28-32页
·铌酸锂晶体的晶体结构	第28-30页
·铌酸锂晶体的Li/Nb	第30-31页
·铌酸锂晶体的掺杂——提高抗光折变能力	第31-32页
第四节 铌酸锂晶体的畴反转理论	第32-36页
第三章 外加电场法铌酸锂铁电畴周期极化反转工艺	第36-64页
第一节 现有周期极化工艺简介	第36-38页
第二节 金属薄膜电极极化法的工艺流程	第38-46页
·掩模板的设计	第39-41页
·光刻技术	第41-43页
·施加极化电场	第43-45页
·极化后的后续工作	第45-46页
第三节 金属薄膜电极外加电场极化法工艺参数的讨论	第46-60页
·晶体的选材	第46-49页
·电极方向的选择	第49-55页
·极化电压波形的设计	第55-58页
·温度对晶体极化的影响	第58-59页
·波导结构对占空比的影响	第59-60页
第四节 周期反转结构的观察方法	第60-64页
·其它观测方式简介	第60-62页
·畴结构的腐蚀法观察	第62-64页
第四章 总结与展望	第64-66页
参考文献	第66-69页
致谢	第69-70页
个人简历	第70页