嵌段共聚物薄膜二维自组装及在纳米压印中的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-31页 |
| ·课题来源及研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| ·嵌段共聚物薄膜自组装 | 第13-21页 |
| ·自组装微相分离及调控方法 | 第13-19页 |
| ·形态转变机理及动力学 | 第19-20页 |
| ·自组装的应用 | 第20-21页 |
| ·AFM 基本原理及应用 | 第21-29页 |
| ·AFM 的组成及原理 | 第21-24页 |
| ·AFM 在形貌表征中的应用 | 第24页 |
| ·AFM 在微纳米加工中的应用 | 第24-29页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 AFM 特种表征技术的研究 | 第31-43页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·AFM 测膜厚技术 | 第32-38页 |
| ·实验部分 | 第32-33页 |
| ·薄膜厚度的测试原理及方法 | 第33-37页 |
| ·与以往AFM 测膜厚方法比较 | 第37-38页 |
| ·AFM 离位跟踪定位技术 | 第38-42页 |
| ·实验材料及仪器 | 第38-39页 |
| ·碳纳米管二次定位技术 | 第39-40页 |
| ·AFM 针尖打孔定位技术 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 SEBS 薄膜自组装有序化的研究 | 第43-76页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·实验部分 | 第44-45页 |
| ·实验原料及仪器 | 第44-45页 |
| ·样品制备及溶剂退火方法 | 第45页 |
| ·实验结果与讨论 | 第45-74页 |
| ·厚度大于20nm 的SEBS 薄膜自组装有序化 | 第46-56页 |
| ·厚度小于20nm 的SEBS 薄膜自组装有序化 | 第56-69页 |
| ·有序化动力学及球形结构尺寸可控性 | 第69-72页 |
| ·薄膜有序化路径的验证 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第4章 AFM 针尖锻造纳米压印的研究 | 第76-101页 |
| ·引言 | 第76-77页 |
| ·实验部分 | 第77-78页 |
| ·实验原料及仪器 | 第77页 |
| ·实验方法 | 第77-78页 |
| ·实验结果及讨论 | 第78-99页 |
| ·AFM 纳米压印 | 第78-83页 |
| ·纳米压印的影响因素 | 第83-88页 |
| ·纳米压印图案热擦除现象 | 第88-89页 |
| ·AFM 针尖锻造纳米压印机理 | 第89-92页 |
| ·AFM 自动压印技术 | 第92-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第5章 纳米压痕的回复行为研究 | 第101-114页 |
| ·引言 | 第101-102页 |
| ·实验部分 | 第102-103页 |
| ·实验原料及仪器 | 第102页 |
| ·实验方法 | 第102-103页 |
| ·实验结果及讨论 | 第103-113页 |
| ·纳米压痕的回复行为 | 第103-105页 |
| ·纳米压痕回复的影响因素 | 第105-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 结论 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-128页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第128-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 个人简历 | 第131页 |
